طراحی و شبیه سازی فشار سنج و شتاب سنج مبتنی بر مدارات مجتمع نوری با استفاده از اثر فوتوالاستیسیته لیتیوم نیوبات
Abstract(in Persian; no English abstract is available)
در این مقاله فشارسنج و شتاب سنج نوری جدیدی مبتنی بر ادوات میکروالکترواپتومکانیک با استفاده از تداخل سنج ماخ - زندر مجتمع در دریچه لیتیوم نیوبات طراحی شده است. در این حسگر با اعمال فشار و شتاب، دریچه دچار کرنش می شود و به علت اثر فوتوالاستیسیته تغییرات ضریب شکست در موج بر نوری واقع در دریچه ایجاد می شود. تغییر ضریب شکست، باعث تأخیر فاز نور منتشر شده در موج بر گردیده و این تغییر فاز توسط تداخل سنج ماخ - زندر، به تغییرات شدت نور تبدیل می شود، برای محاسبه تنش ایجاد شده در دریچه از نرم افزار 5/14 ansys استفاده شد و حساسیت فشارسنج و شتاب سنج طراحی شده به ترتیب (rad/pa)4-10×33/2 و (rad.s2/m)5-10×16/2به دست آمد.