مدل سازی و شبیه سازی اثر دمای زیر لایه بر واکنش های سطحی در رشد فیلم نازک GaAs به روش تبخیر شیمیایی

نویسندگان

چکیده مقاله:

در این کار، شبیه سازی رشد لایه ی نازکGaAs به کمک روش تبخیر شیمیایی در محیط نرم افزار COMSOL Multiphysics انجام گردیده است. به منظور مقایسه نتایج شبیه سازی با نتایج تجربی، تمامی جزییات شبیه سازی و واکنش های مربوط به تشکیل GaAs بر مبنای یک آزمایش تجربی و نتایج آن صورت گرفت.جزئیات مراحل تعریف واکنش ها، طراحی محفظه، مطالعه روابط شیمیایی و ترمودینامیکی مربوطه و تحلیل مش ها شرح داده شد. پارامتر هایی از قبیل سرعت شار بخار، فشار آن و توزیع دما درون محفظه لایه نشانی مورد بررسی قرار گرفته و به منظور مطالعه و تحلیل، نتایج آن به صورت نمودارهای مناسب ارائه گردید. همچنین وابستگی دمای زیر لایه روی نرخ رشد ماده و الگوی توزیع جرم در نمونه لایه نازک بررسی گردید. با مقایسه ی نتایج شبیه سازی و داده های آزمایشگاهی، علاوه بر بررسی دقت مدل ارائه شده می توان توصیفی مناسب از ارتباط بین نرخ تشکیل لایه با دمای زیر لایه را یافت.

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

شبیه سازی و مطالعه ی اثر دمای چشمه در لایه نشانی نانو فیلم های طلا به روش تبخیر حرارتی با استفاده از نرم افزار COMSOL Multiphysics

در این مقاله، فرآیند لایه نشانی فیلم های نازک طلا، به کمک روش تبخیر حرارتی شبیه سازی شد. برای این منظور از نرم افزار COMSOL Multiphysics استفاده گردید. مدل سه بعدی در محیط نرم افزار ایجاد شده و هندسه، تحلیل مش ها، شرایط مرزی و روابط مورد نیاز معرفی و مورد مطالعه قرار گرفتند. ضخامت، چگالی، شار گرما، فشار و سایر پارامتر های مرتبط با لایه نشانی مورد بررسی قرار گرفتند. با استفاده از رگرسیون صفحه ای...

متن کامل

شبیه سازی و مطالعه ی اثر دمای چشمه در لایه نشانی نانو فیلم های طلا به روش تبخیر حرارتی با استفاده از نرم افزار comsol multiphysics

در این مقاله، فرآیند لایه نشانی فیلم های نازک طلا، به کمک روش تبخیر حرارتی شبیه سازی شد. برای این منظور از نرم افزار comsol multiphysics استفاده گردید. مدل سه بعدی در محیط نرم افزار ایجاد شده و هندسه، تحلیل مش ها، شرایط مرزی و روابط مورد نیاز معرفی و مورد مطالعه قرار گرفتند. ضخامت، چگالی، شار گرما، فشار و سایر پارامتر های مرتبط با لایه نشانی مورد بررسی قرار گرفتند. با استفاده از رگرسیون صفحه ای...

متن کامل

بررسی اثر دمای زیر لایه بر رفتار فیلم نازک نانو ذرات سولفیدروی در کاربرد پوشش های سد عبور تابش زیر قرمز

�� این مقاله راهکاری جهت جلوگیری از ورود یا خروج گرمای ناخواسته تابشی (امواج الکترومغناطیس فرو سرخ) به داخل یا خارج سیستم مورد بررسی (ساختمان، خودرو و ...) ارائه می�دهد. با این راهکار مصرف انرژی گرمایشی یا سرمایشی بشدت کاهش می�یابد. اختلاف دمای بین سیستم و محیط سبب انتقال گرما و هدر رفت انرژی می�شود، ولی در واقع انتقال گرما به روش تابشی نسبت دو روش رسانش و همرفت از اهمیت بیشتری برخوردار است، چر...

متن کامل

شبیه سازی الگوی توزیع رطوبت و تبخیر در آبیاری قطره ای زیر سطحی در یک خاک شنی

علاقه به استفاده از سامانه های آبیاری زیر فشار به دلیل کمبود منابع آب و بالا بودن بازده ی مصرف آب در این سامانه ها، در سالهای اخیر به صورت فزاینده ای افزایش یافته است. از جمله این روشها، که اخیراً در مناطق خشک ایران جهت آبیاری باغهای پسته مورد استفاده قرار می گیرد، سامانه ی آبیاری قطره ای زیر سطحی است. طراحی و مدیریت صحیح این سامانه ها مستلزم آگاهی از نحوه توزیع رطوبت در خاک است. در این تحقیق کا...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


عنوان ژورنال

دوره 7  شماره 1

صفحات  5- 22

تاریخ انتشار 2017-08-23

با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023