نقش عملیات حرارتی در استحاله فازی و تغییر ویژگی های الکترونیکی فیلم‌های سیلیکون

نویسندگان

  • شاهرخ آهنگرانی سازمان پژوهش‌های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی‌های نو، تهران، ایران
  • میثم زرچی سازمان پژوهش‌های علمی و صنعتی ایران، پژوهشکده مواد پیشرفته و انرژی‌های نو، تهران، ایران
چکیده مقاله:

فیلم‌هایی از سیلیکون آمورف به روش لایه­نشانی فیزیکی فاز بخار به کمک پرتو الکترونی (EB-PVD) ایجاد شد. فرآیند لایه­نشانی در شرایط خلأ بالا (torr 6-10) که منجر به تشکیل یک پوشش آمورف البته با ضخامت‌های کنترل‌شده انجام شد. پس از نمونه‌سازی، نمونه‌ها در دمای oC800 و در محیط گاز خنثی تحت شرایط عملیات حرارتی قرار گرفت و ویژگی‌های ساختاری و الکتریکی آن قبل و بعد از عملیات حرارتی مورد تحلیل قرار گرفت. نتایج حاصل از میکرورامان نشان­دهنده ساختار آمورف در پوشش­های اولیه بود که با افزایش ضخامت پوشش و حضور نقایص بیشتر مقداری از نانوکریستال­ها تشکیل شد. علاوه بر آن با اعمال شرایط عملیات حرارتی تشکیل، رشد و ادغام نانوکریستال­ها و تشکیل یک ساختار پلی­کریستال را شاهد هستیم. نانوکریستال­ها منجر به تشکیل پیوندهای sp2 و sp3شده که همین خود باعث افزایش هدایت الکتریکی پوشش در این شرایط شد و این افزایش هدایت الکتریکی با افزایش ضخامت پوشش بر روی نمونه‌های موردبررسی به شدت افزایش یافت.

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

استحاله و تغییر هستی‌شناختی در آیین‌های گذار

آیین در واقع بیان نمادین و گاهی رازآمیز ارزش‌های فرهنگی و دینی یک جامعه است. ساختار آیین متأثر از اسطوره‌ها و باورهای متافیزیکی و گاهی مادی مردمی است که در طول سالیان متمادی به آن عمل کرده و آنرا حفظ می‌کنند. از مهم‌ترین و متداول‌ترین آیین‌های رایج جوامع بشری آیین گذار است. آیینی که مقاطع مهم زندگی انسان را به او گوشزد کرده و به مرور نقش‌ها و مسؤولیت‌های جدید و متعالی‌تری را به او می‌سپارد. فرد...

متن کامل

بررسی وقوع استحاله فازی در آلیاژ Ti-6242 و تعیین دمای استحاله آن

هدف از پژوهش حاضر تعیین دمای استحاله‌ی دو آلیاژ Ti-6242 و بررسی تأثیر مقادیر مختلف عناصر بر پایداری فازهای آلفا و بتا با استفاده از بررسی‌های ریزساختاری و آزمایش پیچش گرم است. تعیین دمای استحاله‌ی بتا نقش مهمی در طراحی دقیق عملیات ترمومکانیکی و عملیات حرارتی در آلیاژهای تیتانیم دارد و از این‌رو عامل تأثیرگذاری بر خواص مکانیکی آلیاژهای دوفازی تیتانیم می‌باشد. برای این منظور، آزمایش پیچش گرم با ن...

متن کامل

استحاله و تغییر هستی شناختی در آیین های گذار

آیین در واقع بیان نمادین و گاهی رازآمیز ارزش های فرهنگی و دینی یک جامعه است. ساختار آیین متأثر از اسطوره ها و باورهای متافیزیکی و گاهی مادی مردمی است که در طول سالیان متمادی به آن عمل کرده و آنرا حفظ می کنند. از مهم ترین و متداول ترین آیین های رایج جوامع بشری آیین گذار است. آیینی که مقاطع مهم زندگی انسان را به او گوشزد کرده و به مرور نقش ها و مسؤولیت های جدید و متعالی تری را به او می سپارد. فرد...

متن کامل

تاثیر شرایط عملیات حرارتی بر خواص کششی فولاد سه فازی

در این تحقیق، ابتدا نمونه های فولاد 4140 در دمای 850 درجه سانتی گراد به مدت 1 ساعت حرارت داده شدند. سپس در دمای 720 درجه سانتی گراد به مدت سه دقیقه نگهداری و به حمام نمک با دماهای متفاوت 380، 400، 420 و 450 درجه سانتی گراد به مدت 4 دقیقه منتقل و در نهایت در آب کوئنچ گردیدند. بر اساس نتایج تست کشش با افزایش دمای حمام نمک (دمای آستمپرینگ) مقادیر استحکام تسلیم، استحکام کششی و ازدیاد طول کاهش یافت....

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


عنوان ژورنال

دوره 13  شماره 33

صفحات  77- 87

تاریخ انتشار 2017-11-22

با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023