حمید غضنفر

[ 1 ] - سیستم‌های میکرو الکترو مکانیک

با رشد روزافزون فناوری‌های ساخت ابزار و سیستم‌ها در مقیاس نانو و میکرو، توجه محققان به‌سمت طراحی و ساخت حسگرها و عملگرهایی برای کنترل و پردازش رفتار این سیستم‌ها در مقیاس‌های کوچک جلب شده است. سیستم‌های میکرو‌ الکترو مکانیکی حاصل تلاش و تحقیق محققان در حوزه‌های مهندسی مکانیک، برق، شیمی و متالورژی در مسیر ساخت میکرو‌حسگرها و میکرو‌عملگر‌هاست. این سیستم‌ها - که آنها را به‌اختصار ممز[i]<...