با گسترش روز افزون تکنولوژی و توسعه سنسورهای میکروالکترومکانیکی در کنار الگوریتم‌های تخمین پیشرفته کاربری این گونه سنسورها رشد چشمگیری یافته است. با این وجود، به خاطر خطای زیاد سنسورهای میکروالکترومکانیکی، ناوبری مبتنی بر این سنسورها نیازمند شناسایی خطاها و کالیبراسیون آن‌ها می‌باشد. از این رو، در این مقاله شناسایی خطا و کالیبراسیون تجربی سنسورهای اینرسی میکروالکترومکانیکی شتاب‌سنج و ژیروسکوپ م...

در این تحقیق بر توسعه مدل دینامیکی و بهبود رفتار دینامیکی سیستم های میکروالکترومکانیکی و افزایش مقاومت آنها در برابر عدم قطیعت های ذاتی سیستم تمرکز شده است. سیستم های میکروالکترومکانیکی معمولاً ساختارهایی میکروسکوپی از سیلیکون هستند که با اجزای مکانیکی و الکترونیکی ترکیب می شوند. نارسایی‏های فرآیند ساخت در ابعاد میکرو به دلیل جدید بودن این فناوری و تغییرات شرایط محیط که همواره بر عملکرد دستگاه ت...

فناوری سیستم های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایه سیلیکون به کمک فناوری ساخت تراشه های میکرونی است. تولید سیستم های میکروالکترومکانیکی به کمک یکی از بنیادی ترین ...

آنتن های قابل تنظیم فرکانسی در سال های اخیر به صورت گسترده در سیستم های مخابراتی مدرن و رادار مورد استفاده قرار گرفته اند. گرچه استفاده از سوئیچ در آنتن ها قابلیت تنظیم فرکانس تشدید آن ها را به طورگسسته ایجادکرده است، اما در برخی کاربردها از جمله جنگ های الکترونیک نیاز به تنظیمات پیوسته فرکانس می باشد. تنظیم پیوسته فرکانس تشدید با استفاده از عناصری با قابلیت تنظیم پیوسته صورت می پذیرد. نصب خازن...

رشد روز افزون به کارگیری سیستم های فرکانس بالا، نیاز به مدارها و سیستم های کم هزینه تر و کوچک تر با مشخصات فرکانس بالای بهتر را بیشتر کرده است. سوئیچ های میکروالکترومکانیکی، یکی از انواع سوئیچ های فرکانس بالا هستند که در سال های اخیر به دلیل ویژگی های فرکانس بالای بهینه از جمله ایزولاسیون بالا، تلفات کم، خطی بودن، قابلیت ساخت با حجم و هزینه کم و قابلیت مجتمع شدن با تکنولوژی ارزان قیمت cmos، در ...

فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک‌ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایة سیلیکون به‌کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است. تولید سیستم‌های میکروالکترومکانیکی به‌کمک یکی از بنیادی‌ترین ...

چکیده: قطعات mems بدلیل مزایایی از قبیل توان تلفاتی کم، نویز، وزن و قیمت کمی که دارند بسیار مورد توجه قرار گرفته اند و امروزه در سیستم های rf فرکانس بالا بسیار مورد استفاده قرار می گیرند. یکی از مهمترین المانهایی که قطعات mems دارند سوئیچ ها می باشند که دارای قابلیت مجتمع سازی هستند. سوئیچ ها در مقایسه با قطعات نیمه هادی از توان مصرفی خیلی پایین، فرکانس قطع بالا، تلفات داخلی کمتر و همچنین ایزو...

در این پایان نامه دو نوع سیگنال تحریک برای کاهش شارژ دی الکتریک سوئیچ های خازنی میکروالکترومکانیکی معرفی می شود. هر دو شکل موج پیشنهادی به گونه ای هستند تا میزان بار تزریقی منبع کاهش یابد. میزان بار به تله افتاده در دی الکتریک و سایر پارامترهای مرتبط برای شکل موج های پیشنهادی و شکل موج هایی که تا کنون معرفی شده به-صورت عددی و تحلیلی محاسبه می شوند. شکل موج سیگنال تحریک تاثیر بسزایی در زمان کلید...

در سنسورهای اینرسیال اندازهگیری دقیق خروجی سیستم در درجه اول اهمیت قرار دارد. ژیروسکوپها میکروالکترومکانیکی علارغم کاهش اثرات نامطلوب مکانیکی و محیطی، کماکان با مشکلی بنام کوپلینگ مکانیکی بین مودهای تحریک و تاثیر مواجه میباشند. یکی از روشهای مهم برای کاهش این اثرات استفاده از سازههایی با چندین جرم گواه است که مودهای تحریک و تاثیر را از هم جدا کرده و هر مود تحریک یا تاثیر فقط بر یک جرم گواه ...

ازآنجایی که میرایی ترموالاستیک عامل محدودکننده ضریب کیفیت در رزوناتورهای میکرو الکترومکانیکی است، در این پایان نامه با استفاده از روشهای تحلیلی، رفتار دینامیکی این سیستم ها تحت اثر این میرایی با بهره گیری از تئوری های غیر کلاسیک ترموالاستیسیته مطالعه می گردد. در ابتدا با در نظر گرفتن شرایط آدیاباتیک و ارتعاشات هارمونیک برای یک میکرو تیر دوسرگیردار، از حل تحلیلی معادلات ترموالاستیسیته، رابطه ای ...