در این پژوهش، مدل جدیدی برای میکروفون های خازنی mems، جهت استفاده در مدارهای مجتمع نشان داده شده است. این میکروفون دارای دیافراگمی به ضخامت (1?m)و ابعاد (0.5×0.5?mm?^2 ) می باشد. فاصله هوایی در نظر گرفته شده برای این میکروفون(1?m) می باشد. در طراحی این میکروفون، از یک دیافراگم شیار دار که بوسیله بازوهایی نگه داشتهمی شوند، استفاده شده است که سبب کاهش استرس در دیافراگم می شود و همچنین تعداد 16 حف...

در این پایان نامه دیافراگم میکروفن خازنی به صورت یک ورق نازک دایروی همسانگرد گیردار که از دو طرف تحت بار الکترواستاتیکی می باشد مدل شده و فشار آکوستیکی به صورت یک تابع هارمونیک یکنواخت برآن اعمال شده است. همچنین نیروی میرایی بصورت یک جمله ی خطی بر دیافراگم مدل شده است. در این پایان نامه ابتدا معادلات حرکت با استفاده از تئوری غیرخطی ون کارمن میکروصفحه دایروی تحت نیروی الکترواستاتیکی اعمالی از صف...

در این تحقیق به معرفی انواع میکروفون ها، ساختمان، مزایب و معایب آن ها پرداخته شده و معادله ی ارتعاشی حاکم بر ساختار مکانیکی میکروفون خازنی که متشکل از دو صفحه ی ثابت و متحرک دایروی بوده و تحت اثر نیروی الکترواستاتیکی ناشی از منبع ولتاژ dc و فشار صوت قرار دارد استخراج شده و با استفاده از روش های خطی سازی مرتبه به مرتبه و گلرکین حل شده است. در ادامه به بررسی تأثیر نویزهای مکانیکی بر روی رفتار دین...

در این مقاله، یک میکروفن خازنی m‏ems  جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام  مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می دهد. تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ...

امروزه ارتباطات بی سیم سبب پیشرفت غیرمنتظره و فوق سریع تکنولوژی rf-mems شده است، تکنولوژی ای که پتانسیل جایگزینی با تکنولوژی های نیمه هادی ، بی سیم و مکانیکی در سیستم-های مخابراتی آینده مثل مخابرات بی سیم را دارد. تکنولوژی rf-mems با ترکیب عملکرد rf عالی، هزینه و تلفات توان کم، اجازه کشف معماری و پیکربندی ای جدید که با تکنولوژی های مرسوم امکان پذیر نیست، را می دهد. در این پروژه انواع سوئیچ های ...

در این پایان نامه پس از بررسی ساختارهای گوناگون موجود برای حسگر اثرانگشت ساختار جدیدی برای حسگرهای اثرانگشت خازنی mems ارائه گردیده است، که با رفع ضعف های طرحهای پیشین و استفاده از نکات مثبت آنها موفق به افزایش حساسیت در اینگونه حسگرها شده است. حسگرهای خازنی از دو صفحه موازی که در فاصله ی معینی از هم قرار دارند تشکیل شده است. در این حسگرها تغییرات خازنی عامل بسیار مهمی در تعیین عملکرد آنها می ب...

در این مقاله طراحی، شبیه­سازی و ساخت یک سوئیچ خازنی rf mems موازی کم تلف بروی موجبر هم­صفحه و بستر عایق آلومینا، در باند فرکانس ghz 60-40 ارائه شده است. مکانیزم تحریک این سوئیچ بصورت الکترواستاتیکی است. ابتدا موجبر هم­صفحه برای داشتن امپدانس مشخصه ω50 بروی بستر عایق آلومینا طراحی شده، سپس سوئیچ مورد نظر طراحی و پس از انتخاب ابعاد آن، پارامترهای مهم آن توسط شبیه­سازی المان محدود و موجی کامل با ن...

بعد از آشنایی کافی در مورد ادوات mems به طور کامل انواع شتاب سنج ها را مورد بررسی قرار دادیم و پس از آن در مورد نوع پرکاربردتر شتاب سنج ها که همان شتاب سنج خازنی mems است به توضیح و تفسیر بیشتری پرداختیم و انواع مختلف آن را که تقسیم می شود به تک محوره، دو محوره و سه محوره به طور کامل تشریح کردیم و در مرحله بعد کاربرد شتاب سنج در خودرو را مورد بررسی قرار دادیم و طبق شتاب لازمه برای تشخیص تصادف خ...

در این پایان نامه دو نوع سیگنال تحریک برای کاهش شارژ دی الکتریک سوئیچ های خازنی میکروالکترومکانیکی معرفی می شود. هر دو شکل موج پیشنهادی به گونه ای هستند تا میزان بار تزریقی منبع کاهش یابد. میزان بار به تله افتاده در دی الکتریک و سایر پارامترهای مرتبط برای شکل موج های پیشنهادی و شکل موج هایی که تا کنون معرفی شده به-صورت عددی و تحلیلی محاسبه می شوند. شکل موج سیگنال تحریک تاثیر بسزایی در زمان کلید...

در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...