نتایج جستجو برای: میکروماشین کاری
تعداد نتایج: 17980 فیلتر نتایج به سال:
این مقاله، برهمکنش تپهای لیزر با شیشهی BK7 را مورد مطالعه قرار میدهد. با بررسی ابعاد سطح کندوسوز شده، شاریدگی آستانه برای کندوسوز سطحی شیشه با تپهای 40 fs با طولموج مرکزی nm 800، در حدود 2.7 J/cm-2 به دست آمد. با انتقال محل کانون لیزر به زیر سطح و تغییر سرعت جابهجایی باریکهی لیزر فمتوثانیه عمق شیشه با تپهای لیزر فمتوثانیه میکروماشین کاری شد. با استفاده از تصویرهای دوربین CCD...
ساخت سریع میکرو کانتیلیور های تک ماده ای از جنس sio۲ با هزینه کم بر پایه فناوری میکروماشین کاری حجمی
از آنجائیکه کانتیلیور ها پایه و اساس بیشتر قطعات مبتنی بر ساختارهای mems می باشند، در این مقاله فرآیند ساخت کانتیلیور با فناوری میکرو ماشین کاری حجمی بیان شده است و از آن فرآیند برای ساخت آرایه ای از میکروکانتیلیورهای تک ماده ای از جنس sio2 استفاده شده است. نتایج حاصل از این مقاله می تواند پایه و اساس طراحی و ساخت حسگرهایی باشد که بر پایه کانتیلیور از جنس sio2 استوار است. طراحی فرآیند ساخت کانت...
در این مقاله از ماشینکاری پلیمر pmma با لیزر 2co به منظور ایجاد مجراهای دو بعدی میکرو (با ابعاد کمتر از 500 میکرون) استفاده شده است. به منظور ایجاد کانال میکرو، نمونه با دو شاریدگی j/cm2 9/44و 4/48 و سرعتهای پایش متفاوت از مرتبه μm/s 500-63 توسط لیزر 2co پالسی مورد تابش قرار گرفته است و در مراحل بعدی برای تکمیل تراشه میکرو شاره، تراشهt شکل توسط لیزرهای 2co به پلیمر جوش داده شدهاست. نتایج ح...
در این مقاله، آشکارساز مادون قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیهسازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده ای و ایزوله و ستونهای نگهدارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایهای از جنس دی اکسید سیلیکون (sio2) به ضخامت µm1 و آلومینیوم (al) به ضخامت nm200 است. در این آشکارساز، میزان جذب ir و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده ای ...
طراحی و ساخت میکروهیتر بهبود یافته با الکترودهایی از جنس طلا و مقایسه عملکرد آن با میکروهیتر پلاتینی
با توسعه ریزفناوری میکروماشین کاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده اند. جنس الکترود گرم-کننده یکی از عوامل تاثیرگذار در میزان اتلاف توان، پاسخ زمانی و حساسیت میکروهیتر می باشد. در این مقاله دو میکروهیتر با هندسه یکسان، اما با دو فلز مختلف بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشین کاری حجمی (mems) طراحی، ساخته و مشخصه یابی شده اند. در میکروهیتر اول از...
این مقاله به بررسی و تحلیل رفتاری لایه برداری سطحی ناهمسانگرد سیلیکون (100) در هیدروکسید آمونیم تترامتیل(tmah) پرداخته است. فرآیند حکاکی در محلول tmah با غلظتهای مختلف 5%، 10%، 15% و 25% و در دماهای مختلف oc 70، oc 80 و oc90 انجام شد. نتایج نشان میدهد که نرخ زدایش با افزایش دما، افزایش مییابد ولی این نرخ با افزایش غلظت tmah در غلظتهای بیشتر از 10% کاهش مییابد. بیشترین نرخ زدایش برابر با ...
در این پایان نامه، نحوه ی ساخت کانال میکرونی مخروطی با استفاده از روش لیتوگرافی نوری و لیتوگرافی نرم بررسی شده است. روش های مختلفی که برای طراحی و ساخت قالب های میکرونی به کار می روند، به نام میکروماشین کاری شناخته می شوند. میکروماشین کاری با تولید سازه های میکرواپتیکی و میکروالکترونیک به روش لیتوگرافی پا به عرصه گذاشت. ساخت اَدوات میکرونی در کوتاه ترین زمان یکی از مشکلات کارهای آزمایشگاهی است....
در این مقاله، آشکارساز مادون قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیهسازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده ای و ایزوله و ستونهای نگهدارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایهای از جنس دی اکسید سیلیکون (sio2) به ضخامت µm1 و آلومینیوم (al) به ضخامت nm200 است. در این آشکارساز، میزان جذب ir و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده ای ...
در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...
سیستم های میکروالکترومکانیکی به سیستم ها و یا قطعاتی ، با اجزای مکانیکی و الکترونیکی در ابعاد میکرومتری اطلاق می گردد. به دلیل کوچکی اندازه، هزینه ساخت پایین، مصرف توان کم و بازدهی بالا این فناوری توانسته در زمینه های مختلف فناوری کاربردهای وسیعی پیدا بکند. ژیروسکوپ با فناوری میکروماشین کاری حجم ساخته شده و از نوع ارتعاشی تک محوره با تحریک خازنی طولی و آشکارسازی خازنی تفاضلی می باشد. تحریک روی ...
نمودار تعداد نتایج جستجو در هر سال
با کلیک روی نمودار نتایج را به سال انتشار فیلتر کنید