ساخت لایه های نازک پنتااکسید وانادیم و تحیل ناهمواری سطوح آنها

پایان نامه
چکیده

بخاطر اهمیتهای تکنیکی و علائق بنیادی، تاشهای فراوانی برای فهم مکانیزم رشد لایه های نازک و چگونگی دینامیک ناهمواری سطوح رشد کننده در تنیکهای مختلف صورت گرفته است. در این پایان نامه لایه های نازک پنتا اکسید وانادیم بر روی زیر لایه سیلیکن (100) به روش تبخیر حرارتی رشد داده شد. ناهمواری سطوح بوسیله میکوسکپ نیرو اتمی ‏‎(afm)‎‏ مشخص شد. نماهای زبری و دینامیک لایه ها، با محاسبه تابه همبستگی ارتفاع - ارتفاع، نشان داد که آمار افت و خیز ضخامت مالتی فرکتال نیست.

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه علم و صنعت ایران

کلمات کلیدی

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023