رشد و بررسی نانو ساختاری فیلم نیترید آلومینیوم بر زیر لایه ی (111) si

بررسی نـانو ساختـار فیلم اکسی نیترید سیلیکـون رشد یـافته بـر زیـر لایـه ی (100) si

تلاش زیادی که در طراحی مدار های الکترونیکی با چگالی بالا (مجتمع سازی) صورت گرفته است با چند چالش اساسی مواجه شده اند. بارزترین آن ها، رشد فیلم های دی الکتریک فرا نازک نظیر al2o3 , aln, tio2 , si3n4 , sioxny است. رشد فیلم های فرانازک با استفاده از اکسیژن و نیتروژن می تواند دو مشکل نفوذ بور و تونل زنی از گیت دی الکتریک را کاهش دهد. در اینجا ما طیف فوتوگسیلی اشعه ی x در si2p , si2s , o1s ,n1s را ب...

رشد و بررسی خواص نانو ساختاری اکسید تیتانیوم و نیتراید آلومینیوم

 We have grown TiO2 and AlN under ultra high vacuum and high pressure conditions and studied their structures with using AES and SEM techniques. The obtained results show that an amorphous film of TiO2 and AlN could be formed on silicon substrate. Furthermore, TiO2 and AlN are high – K dielectric materials and they can thus be replaced to ultra thin gate oxide film.

بررسی اثر مقدار نیتروژن بر خصوصیات ساختاری ، فازی و مورفولوژی سطح لایه های نازک نیترید تنگستن

لایه های نیترید تنگستن با ساختاری بلوری به روش تبخیر شیمیایی و در غلظتهای مختلفی از گاز نیتروژن در ترکیب گازی آرگون و نیتروژن تولید شد. نتایج بدست آمده نشان می دهد که غلظت نیتروژن در گاز ترکیبی تاثیر بسزایی روی ساختار، فازهای تشکیل شده، مورفولوژی سطح لایه ها و حتی اندازه دانه ها دارد. پراش اشعه ایکس، ساختار بلوری هگزاگونال WN را در نمونه های با غلظت کم نیتروژن )%10N2=، %30N2= و %50N2= (نشان می ...

بررسی ترموسینتیکی اکسیداسیون پودر نیترید آلومینیوم

دارای خواص فیزیکی عالی نظیر ضریب انبساط حرارتی پایین و هدایت حرارتی و مقاومت الکتریکی بالاست. علیرغم کاربرد (AlN) نیترید آلومینیوم گسترده در صنایع دیرگداز، این ماده در دماهای بالا و اتمسفر محیط تمایل به اکسید شدن دارد که این امر کاربری بلندمدت آن را تحت تاثیر قرار می ده د. لذا در دماهای بالا به وسیل ه AlN مطالعه اکسیداسیون این ماده چه از نقطه نظر بنیادی و چه کاربردی حائز اهمیت است. در این پژوهش...

بررسی ترموسینتیکی اکسیداسیون پودر نیترید آلومینیوم

بررسی اثر دمای زیر لایه بر رفتار فیلم نازک نانو ذرات سولفیدروی در کاربرد پوشش های سد عبور تابش زیر قرمز

�� این مقاله راهکاری جهت جلوگیری از ورود یا خروج گرمای ناخواسته تابشی (امواج الکترومغناطیس فرو سرخ) به داخل یا خارج سیستم مورد بررسی (ساختمان، خودرو و ...) ارائه می�دهد. با این راهکار مصرف انرژی گرمایشی یا سرمایشی بشدت کاهش می�یابد. اختلاف دمای بین سیستم و محیط سبب انتقال گرما و هدر رفت انرژی می�شود، ولی در واقع انتقال گرما به روش تابشی نسبت دو روش رسانش و همرفت از اهمیت بیشتری برخوردار است، چر...