اثر دمای پخت بر خواص ساختاری و نیز سختی لایه نانو ذره ای نیترات زیر کونیوم بر روی استیل 304

فیلم های نیترید زیرکونیوم به صورت گسترده ای در صنعت استفاده می شوند که این به دلیل رنگ طلایی[ 1] و خواص فیزیکی فوق العاده شان از قبیل سختی بسیار بالا [ 2و 3]و مقاومت خوردگی و گرمایی بالا [ 4و 5]و مقاومت الکتریکی پایین [ 3و 6]است. پخت یک تکنیک بسیار مهم برای فه م .[ ساختار میکروسکوپی فیلم ها است، زیرا میکرو ساختار با دما به خوبی فشار تغییر می کند [ 3 مقاومت گرمایی لایه ها دارای اهمیت بسیاری است . مخصوصاَ زمانیکه لایه ها در معرض محیطهای اکسیدی در دماهای بالا قرار دارند . رشد لایه اکسیدی تغییرات قابل توجهی در خواص تر یبولوژیکی، الکتریکی و شیمیایی لایه ها ایجاد کرده و در نتیجه کاربردهای لایه را محدود می کند . در این تحقیق اثر دمای پخت در مجاورت گاز نیتروژن بر روی لایه نانو ساختاری نیترید زیرکونیوم بررسی 400cْ 2/2 و دمای زیرلایه mpa شده است . لایه نشانی با استفاده از روش کندوپاش یونی در خلا صورت گرفت . بررسی خواص میکرو -نانو ساختاری و تعیین فازهای کریستالی فیلم ها با استفاده از سطح لایه را یکنواخت و بدون نقص نشان داده sem انجام گرفت . تصاویر xrd و sem آنالیز قبل از پخت می باشیم که در zrn( شاهد جهت گیری ( 220 xrd است. همچنین در نمودارهای 500 این جهت بهبود یافته و با افزایش دما لایه به تدریج اکسید cْ 400 و cْ اثر پخت در دو دمای و (rbs) شده است . جهت بررسی ضخامت لایه انباشت شده از تکنیک پس پراکندگی رادرفورد rbs برای سختی سنجی از دستگاه میکروسختی سنج ویکرز استفاده شده است . با توجه به طیف ضخامت لایه همراه با بالا رفتن دما و اکسید شدن افزایش می یابد که این مسئله با توجه به تفاوت توجیه پذیر است .