ساخت نانولایه های کربن شبه الماسی به روش پلاسمای dc

چکیده لایه های کربن شبه الماسی dlc ، ساختاری آمورف و شبه پایدار از اتم های کربن و هیدروژن هستند که به دلیل خواص مختلفی چون سختی مکانیکی بالا ، مقاومت مکانیکی بالا و شفافیت اپتیکی مورد توجه پژوهشگران زیادی قرار گرفته اند. خواص این لایه های نازک ، تابع شرایط تهیه بوده و با تغییر شرایط می توان بعضی خواص فیزیکی و اپتوالکتریکی آن ها را تغییر داد. هدف ما در این تحقیق ، ساخت لایه های نازک کربن شبه الماسی به روش پلاسمایdc بر روی زیر لایه های مختلف در زمان های انباشت متفاوت است. سعی شده است اثر این عوامل ، بر روی خواص مختلف لایه ها مورد بررسی قرار گیرد. سایر عوامل مانند فشار اولیه گاز ورودی و فاصله الکترودها در همه نمونه ها ثابت نگه داشته شده اند. پس از طی مراحل ساخت ، برای مشخصه یابی آنالیزهای xrd, sem, ft-ir, uv-vis. بر روی نمونه ها انجام شده است. با استفاده از روابط کرامرز –کرونینگ و روابط فرنل ، ضریب شکست و ضخامت لایه های شبه الماسی محاسبه شده است. روابط کرامرز – کرونینگ بر پایه طیف جذبی ft-ir در محدوده cm-1 3100-2800 و تابش نزدیک به عمود ، ضریب شکست را تعیین می کنند و سپس با استفاده از طیف uv-vis. و نتایج حاصل از روابط کرامرز- کرونینگ در روابط فرنل ، ضخامت لایه ها مشخص می شود.