مدل منطقه ای در شبیه سازی رشد نانوساختارها

لایه نشانی زاویه مایل یکی از روش های تبخیر قیزیکی است که در آن شار ذرات فرودی تحت زاویه ای مشخص نسبت به نرمال سطح به سمت زیرلایه فرود می آیند. شکل، اندازه و نحوه توزیع ستون ها به عوامل مختلفی چون آهنگ لایه نشانی، زاویه فرود، جنس ذرات فرودی، انرژی جنبشی ذرات فرودی و دمای زیرلایه بستگی دارد. این تنوع در توزیع و شکل ستون ها باعث بروز خواص اپتیکی، الکتریکی و مغناطیسی متفاوتی در این ساختارها می گردد. بروز این خواص متنوع باعث شده لایه های نازک با چنین ساختارهایی علاوه بر کاربردهای مغناطیسی، الکتریکی و اپتیکی، کاربردهای شیمیایی، پزشکی و بیولوژیکی نیز داشته باشند. بنابراین با کنترل شرایط لایه نشانی می توان شکل ساختار لایه را برای کاربرد خاصی بهینه کرد. در این پایان نامه تاثیر دمای زیرلایه بر شکل، اندازه و نحوه توزیع ستون ها بررسی شد. جنس ذرات فرودی نیکل انتخاب شده است. شبیه سازی به روش مونت کارلو انجام شده است. نتایج با مدل منطقه ای ساختاری همخوانی دارد.