مشخصه یابی لایه های نانومتری اکسید ایندیوم قلع به روش بازتاب سنجی اشعه ایکس (xrr)

پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه بوعلی سینا - دانشکده علوم پایه
نویسنده مجتبی روستایی
استاد راهنما داود رئوفی صفدر حبیبی
سال انتشار 1392

چکیده

در این تحقیق، لایه های نازک اکسید ایندیم قلع (ito) به روش تبخیر با پرتو الکترونی واکنش پذیر بر روی زیرلایه های شیشه ای لایه نشانی شده اند. لایه های نمونه با ضخامت های اسمی 50، 100، 170 و 250 نانومتر با نرخ انباشت ثابت nm/s 10/0 تهیه شدند. دمای زیرلایه ها در خلال لایه نشانی در دمای 400 درجه سانتیگراد ثابت نگه داشته شد. از تکنیک بازتاب سنجی اشعه ایکس (xrr) با زاویه نور خراشان، برای مشخصه یابی لایه های نازک ito استفاده شد. آنالیز داده ها با استفاده از نرم افزارهای matlab و genx و xpowder انجام شد.سپس ضخامت، چگالی الکترونی متوسط و ناهمواری سطح لایه های نازک را به دست آوردیم. همچنین طیف پراش پرتو ایکس (xrd) از لایه ها انجام گرفت و ساختار بلوری لایه ها نیز مورد بررسی قرار گرفت.

منابع مشابه

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}

نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه بوعلی سینا - دانشکده علوم پایه

کلمات کلیدی

نانو لایه اکسید ایندیوم قلع بازتاب سنجی اشعه ایکس

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com