در میان واکنشهایی که روی مرکز سیلیکون انجام می گیرد آن دسته از واکنشها که شامل تشکیل پیوندهای سیلسیم-اکسیزن هستند برای تشکیل سیلیل اترها مهمند. این ترکیبات به طور گسترده برای حفاظت گروههای هیدروکسی به کار می روند. در این کار پژوهشی، ابتدا از واکنش hme2sicl با chbr3 در حضور فلز mg و در حلال thf خشک، ترکیب (hme2si)3ch سنتز شد. سپس این ترکیب با ترکیبات هیدروکسی مختلف از قبیل : اتیلن-گلیکول مونو بوتیل اتر، تری اتیلن گلیکول مونو متیل اتر، 2-کلرواتانول ، بنزیل الکل، آلیل الکل ، گلیسیدول در حضور 40 میکرولیتر از کاتالیزگر کارستد، pt[(ch2=chsime2osime2ch=ch2)2] (2%pt) ،برای تولید محصولات(rome2si)3ch، در شرایط بازروانی واکنش داده شد. گلیسیدول محصول سیلیل اتری مربوطه را در شرایط بازروانی تولید نکرد بلکه واکنش پلیمریزاسیون به جای آلکولیز اتفاق افتاد اما در دمای اتاق محصول سیلیل اتری مورد انتظار را با بهره خوبی به دست داد. بررسی اثر دما و مقدار کاتالیزگر روی این واکنشها نشان داد که با افزایش مقدار کاتالیزگر سرعت واکنش افزایش می یابد. همچنین زمان انجام تمام این واکنشها در دمای اتاق نسبت به شرایط بازروانی بیشتر است. در نهایت مقایسه کاتالیزگر کارستد با کاتالیزور h2ptcl6.6h2o (اسپیر) و clrh(ph3p)3 (ویلکینسون) نشان داد که کاتالیزگر کارستد برای واکنش آلکولیزترکیب (hme2si)3ch مناسبتر از دو مورد دیگر می باشد. محصولاتی که از واکنشهای فوق سنتز گردیدند، با روشهای معمول اسپکتروسکوپی از قبیل: ft-ir ، 1h nmr ، 13c nmr ، طیف سنجی جرمی(ms) و آنالیز عنصری ( chns ) شناسایی و اثبات شدند.