با توجه به اهمیت آنالیز مواد جهت بررسی ترکیب و ساختار یک نمونه، به منظور بهبود اثر بخشی آن، از روش-های آنالیزی گوناگونی استفاده می شود. بعنوان نمونه می توان به آنالیز با استفاده از باریکه یونی اشاره کرد. از بین این روش های آنالیزی، آنالیز به روش pixe و rbs که در آنها از باریکه یونی مانند پروتون، دوتریم و ذرات آلفا استفاده می شود، از اهمیت ویژه ای، به دلیل غیرمخرب بودن، برخوردار می باشند. دقت و سرعت بالا در آنالیز pixe و rbs و همچنین غیرمخرب بودن و گستره کاربردهای گوناگون این دو روش آنالیزی (در زمینه های پزشکی، علم مواد، بررسی لایه ها از لحاظ ترکیب، ضخامت، ساختار و...) باعث شده است که این دو روش پس از گذشت چندین سال، همچنان جز روش های آنالیزی کار آمد باشند. در این پایان نامه سعی شده است که با بررسی اصول آنالیز pixe و rbs به آنالیز نمونه های گوناگون پرداخته و بر توانایی این دو روش تأکید نماییم. با استفاده از آنالیز pixe و rbs ساختار و ضخامت لایه ها در نمونه ای که به صورت لایه نشانی از جنس ta2o5 و sio2 و نیز نمونه دیگری از جنس zno و tio2 (که به صورت مخلوط بر روی لام لایه نشانی شده است) را مورد بررسی قرار داده ایم. همچنین به بررسی ساختار و تغییرات ایجاد شده در اثر پرتودهی لیزر nd:yag در نمونه ای که از فلز آمورف تهیه شده است، پرداخته ایم.