نسل جدیدی از نانوساختارها، نانوساختارهای مجسمه سازی شده هستند که با کنترل راستای شار بخار فرودی نسبت به زیرلایه در حین لایه نشانی به روش های تبخیر فیزیکی ساخته می شوند. با تنظیم پارامترهایی مثل سرعت و جهت چرخش ها در دو جهت عمود بر زیرلایه و موازی با آن، می توان شکل نانوساختار به همراه زیری و تخلخل لایه مجسمه سازی شده را تعیین کرد. امروزه این نانوساختارها کاربرد های وسیعی در زمینه های قطعات اپتیکی، حسگری، مکانیکی، الکتروشیمیایی، سلول های خورشیدی و زیست فناوری پیدا کرده اند. در این پایان نامه از لحاظ تئوری، ابتدا خواص اپتیکی نانوفنرهای مایل از جنس سیلیسیوم با تئوری rcwa مورد مطالعه قرار گرفت. سپس با استفاده از این تئوری و فرمالیزم همگن سازی، خواص اپتیکی نانوفنرهای مایل از جنس دی اکسید تیتانیوم را محاسبه و با نتایج تجربی گزارش شده مقایسه کردیم. از لحاظ تجربی، برای اولین بار با استفاده از روش لایه نشانی مایل همراه با زیرلایه چرخان و استفاده از یک بلوک سایه افکنی ، نانوستون های مارپیچی نقره را در شکل های مایل و زیگزاگ ساختیم. با استفاده از آنالیزهای sem، afm وxrd ، مشخصه های ساختاری این نانوستون ها و با استفاده ازطیف سنجی، خواص اپتیکی آنها را مورد بررسی قرار دادیم. در ادامه خواص حسگری گاز گسیل یون نیز برای گازهای مختلف، روی این نانوساختارها مورد مطالعه قرار گرفت. همچنین نسل جدیدی از از چندلایه های فلزی از جنس نیکل- نقره را با استفاده از رشد مایل ساخته و مشخصه های ساختاری آن هارا با آنالیزهای xrd و afm مطالعه کردیم. خاصیت تغییر مقاومت الکتریکی با میدان مغناطیسی نیز در این چندلایه ها در دو جهت لایه اندازه گیری و بررسی شد.