در این پژوهش تجربی، میکرو/ نانو ساختار های اکسید روی (zno) به روش اسپری، بر روی زیرلایه های شیشه و si(100) نوع p ، تحت شرایط رشد مختلف با استفاده از پیش ماده ی استات روی حل شده در آب دیونیزه، متانول و اسید استیک، تولید شدند. با بررسی نتایج حاصل از میکروسکوپ الکترونی (sem) و آنالیز نمونه ها با دستگاه edx به مورفولوژی هایی نظیر مقالات دیگر دست یافتیم. به منظور بهبود در ساختار نمونه ها، تغییراتی در عملیات اسپری و پارامترهای رشد انجام داده شد. بررسی های مجدد نمونه ها با تصویر برداری sem و پراش اشعه ی ایکس (xrd) نشان داد که نمونه های تولید شده به روش اسپری در این مرحله بر روی si هم با استفاده از کاتالیست طلا و هم بدون استفاده از کاتالیست، دارای ساختارهایی شش گوشی و منظم با جهت گیری های تصادفی هستند. در انتها مورفولوژی و خواص اپتیکی فیلم های بسیار نازک zno آلاییده شده با 0 ، 1، 3 و 5% ایندیوم به روش اسپری، تحت شرایط رشد بهینه، مورد بررسی قرار گرفت وطیف عبور (t)، انرژی گاف(eg) ، ضریب شکست(n) و ضریب خاموشی (k) در حالت های آلاییده و خالص مقایسه شد. نتایج بررسی ها نشان داد که نمونه ی 1% آلاییده شده با ایندیوم، انرژی گاف و عبور بیش تری نسبت به بقیه ی نمونه ها دارد که این نتیجه می تواند با توجه به مقدار مطلوب ایندیوم برای آلاییدن و حاصل شدن حد انحلال پذیری ایندیوم در این درصد باشد؛ مورفولوژی هموار و یکدست این نمونه که توسط آنالیز sem بررسی شد، گواه دیگری برای این ادعا است.