چکیده روش مونت کارلوی جنبشی برای شبیه سازی رشد لایه های نازک آهن بر روی زیرلایه آهن استفاده شده است. دراین شبیه سازی اتمهای آهن به مکان هایی با حداقل انرژی برآسوده می شوند. این جایگاه های مناسب از میان جایگاه های ممکن شبکه، بر اساس دانش ما از برهم کنش های اتمی ساختارهای ممکن شبکه و روش مونت کارلو انتخاب می شوند. تاثیر آهنگ انباشت و دمای زیرلایه وگاز اکسیژن به عنوان گاز باقیمانده روی ریخت، زبری، کسر بهم پکیدگی و بعد فراکتالی لایه های نازک آهن، مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج شبیه سازی نشان می دهد که با افزایش دمای زیرلایه، کسر بهم پکیدگی و تعداد اتمهای جابجا شده افزایش یافته، در حالی که زبری و بعد فراکتالی کاهش یافته است. با افزایش آهنگ انباشت، کسر بهم پکیدگی و تعداد اتمهای جابجا شده کاهش ولی زبری و بعد فراکتالی افزایش می یابد. همچنین نتایج نشان می دهد حتی شار کوچکی از اتمهای اکسیژن به شدت ریخت لایه های نازک آهن را تحت تاثیر قرار می دهد.