در این تحقیق نانو لایه های اکسید روی به روش اسپری پایرولیزیز به روی زیرلایه های شیشه ای و سیلیکونی نشانده شد. خواص ساختاری و اپتیکی نانو ساختار های اکسید روی مورد بررسی قرار گرفت. ساختار بلوری لایه های نازک به روش اشعه ایکس مورد بررسی قرار گرفت که وجود یک ساختار بلوری ورتسیت هگزاگونال مشاهده شد. صفحات ترجیحی رشد برای نمونه ها صفحه (002) می باشد. بر ای تعیین ضخامت لایه از بیضی سنجی استفاده شد که ضخامت لایه حدود 322/5 نانومتر بدست آمد. خواص اپتیکی لایه های نازک با طیف سنجی ماوراء بنفش و مرئی مورد بررسی قرار گرفت. نمونه شفایت خوبی حدود 95 درصد داشت. گاف انرژی حداود 3/24 الکترون ولت بدست آمد که توافق خوبی با مقادیر گزارش شده داشت . همچنین قله مربوط به صفحه (002) در نمونه تهیه شده بر روی لایه شیشه ای در زاویه 34.3659 تشکیل شد که کمی کوچکتر از مورد زیرلایه سیلیکونی بود. می توان نتیجه گرفت استرس فشاری فیلم ها برای مورد شیشه ای بیشتر بوده است.