در میان سنجه های توسعه اقتصادی، شاخص بهره وری کل عوامل تولید یکی از مهمترین سنجه های بهره وری است، که بر اساس آن نسبت مجموع خروجی ها به مجموع کل ورودی ها (نهاده ها) محاسبه می شود. از این رو با توجه به نقش بهره وری در توسعه، این تحقیق با هدف اندازه گیری رشد بهره وری کل عوامل تولید (tfp) گروه های مختلف صنایع کارخانه ای استان یزد طی دوره زمانی 86-1376 و همچنین محاسبه روند تغییرات تکنیکی در صنایع این استان تدوین شده است. در این راستا برای برآورد رشد بهره وری کل عوامل تولید ابتدا تابع هزینه ترانسلوگ که تابعی از قیمت سرمایه (k)، قیمت نیروی کار (l)، قیمت مواد اولیه (m)، قیمت انرژی (e)، تولید کل(y) و متغیر زمان (t) برای نشان دادن تغییرات تکنیکی است را در نظر گرفته و سپس این تابع با استفاده از روش رگرسیون به ظاهر نامرتبط تکراری (isur)، در فضای panel data برآورد شده است. پس از برآورد تابع هزینه، با استفاده از دو روش روند زمانی ساده (ttm) و شاخص عمومی تعمیم یافته (gim) به محاسبه رشد تغییرات تکنیکی پرداخته و از روش پارامتری، رشد بهره وری کل عوامل تولید در صنایع استان یزد محاسبه شده است. نتایج نشان می دهد که در هر دو مدل ttm و gim ضرایب حاصل از برآورد تابع هزینه معنادار بوده و از تئوری اقتصادی پیروی می کنند. هر دو مدل مورد استفاده در تحقیق نشان دهنده نرخ رشد مثبت بهره وری کل عوامل تولید، تقریبا برای تمام سال ها و گروه های مورد بررسی هستند. ولی نکته قابل توجه اینکه، نرخ رشد بهره وری کل عوامل تولید محاسبه شده در مدل شاخص عمومی تعمیم یافته (gim)، بسیار پایین تر از نرخ رشد محاسبه شده در مدل روند زمانی ساده (ttm) است. همچنین با توجه به نتایج بدست آمده از برآورد تابع هزینه ترانسلوگ افزایش میزان تولید و قیمت نهاده هامنجر به افزایش کل هزینه های تولید شده که این امر بیانگر غیر نزولی بودن تابع هزینه نسبت به قیمت عوامل تولیدو سطح تولیدات است. نتایج محاسبه صرفه های مقیاس و کشش های جانشینی نیز نشان داد که، تولیددرصنایع کارخانه ای استان یزد تقریبا برای تمامی سالها از ویژگی صرفه های ناشی از مقیاس برخوردار بوده است. با توجه به محاسبه کشش های جانشینی آلن و موریشیما، به جز رابطه مکملی بین نهاده های نیروی کار با مواد اولیه و انرژی با مواد اولیه، بین سایر نهاده ها رابطه جانشینی وجود دارد.