در این پایان نامه ابتدا، به معرفی کلی تکنولوژی سیستم های میکروالکترومکانیکی (mems) پرداخته شده و پیش زمینه ای از آن ارائه گردیده و در خصوص مواد مورد استفاده و روشهای تحریک این گونه سیستم ها توضیحاتی داده شده است. در ادامه، مطالعات انجام شده توسط روش های نیمه تحلیلی در زمینه سیستمهای میکرو الکترومکانیکی مرور شده است سپس، چند روش حل نیمه تحلیلی پرکاربرد معادلات مانند: pm،vim و hpm بطور کامل معرفی شده و با مثال های متعدد این روشها مورد بررسی قرار گرفته است. در ادامه، مدل مورد مطالعه با جزئیات کامل توصیف گردیده و معادله استاتیکی و دینامیکی حاکم بر میکروتیر استخراج شده است.معادله استاتیکی غیرخطی سیستم با استفاده از روش sslm خطی سازی شده ، همچنین معادله دینامیکی به دست آمده با روش های نیمه تحلیلی مذکور حل شده است. در پایان نتایج حاصل از روش های نیمه تحلیلی و عددی ارائه شده است و به جمع بندی و نتیجه گیری کلی پرداخته شده است.