میکروپمپ ها نقش مهمی در ساختارهای مختلف الکترومکانیکی و بخصوص دستگاه های بیومکانیک دارند که در آن تحویل سیال در مقیاس میکرو ضروری می باشد. پایانامه های مرتبط با میکروپمپ ها اساسا از سه بخش اصلی تشکیل شده است:1-بخش متحرک که توسط یک مکانیزم تحریک، به حرکت در می آید (دیافراگم) 2- محفظه در بر گیرنده سیال 3- کانال جریان سیال (دریچه ها). در این پایانامه رفتار دینامیکی دیافراگم دایروی میکروپمپ تحت تحریک الکترواستاتیکی مورد تحلیل و بررسی قرار می گیرد. شکل محفظه سیال بصورت استوانه ای با دیواره های صلب بوده و سطح فوقانی استوانه توسط دیافراگم پوشیده شده است. سطح زیرین دارای یک خروجی مرکزی و بخش حلقوی صلب می باشد. اندرکنش سازه-سیال بین دیافراگم الاستیک و سیال عامل با در نظر گرفتن شرایط سازگاری حرکتی در مرز و فشار ناشی از طرف سیال به ساختار(اعمال معادله خطی برنولی) صورت می گیرد. معادله حاکم بر ارتعاش جانبی دیافراگم با استفاده از فرض روش شکل مود ها حاصل می شود.تاثیر خواص هندسی و فیزیکی بروی فرکانس طبیعی سیستم کوپل شده،مورد بررسی قرار می گیرد. علاوه بر این پاسخ دینامیکی دیافراگم، تحت اعمال ولتاژ پله ای و هارمونیک در قالب نمودار های فازی و تاریخچه زمانی نشان داده می شود. پدیده ناپایداری دیافراگم برای انواع سیال عامل و و ولتاژ تحریک نشان داده می شود.