در این تحقیق، لایه های نازک al2o3 بررروی زیر لایه شیشه bk7 به روش تبخیر باریکه الکترونی انباشت شده و سپس در دماهای 250، 350 و500 درجه سانتی گراد بازپخت حرارتی شده اند. تاثیر دمای بازپخت بر روی خواص ساختاری و مورفولوژیکی لایه های فوق با استفاده از آنالیزهای xrd و afm بررسی شده است. نتایج بیانگر آن است که با افزایش دمای بازپخت ساختار لایه ها تغییر نکرده ولی زبری سطح لایه ها افزایش یافته است.