قطعات mems بدلیل مزایایی از قبیل توان تلفاتی کم، وزن و قیمت کمی که دارند بسیار مورد توجه قرار گرفته اند و امروزه در سیستم های rf فرکانس بالا بسیار مورد استفاده قرار می گیرند. یکی از مهمترین المان های که قطعات mems دارند سوئیچ ها می باشند که دارای قابلیت مجتمع سازی هستند. سوئیچ ها در مقایسه با قطعات نیمه هادی از توان مصرفی خیلی پایین، فرکانس قطع بالا، تلفات داخلی کمتر و همچنین ایزولاسیون بالایی برخوردارند. به همین دلیل کاربرد این سوئیچ ها در صنایع هوا فضا، ارتباطات، صنعت خودرو سازی، موبایل و غیره بیش از گذشته شده است. یکی از پارامترهایی که در طراحی سوئیچ mems وجود دارد و پر اهمیت می باشد ایزولاسیون یک سوئیچ است. این پارامتر در یک سوئیچ mems در صورت نرسیدن سیگنال ورودی به بار که در واقع به حالت قطع بار معروف است ایجاد می شود که در حالت ایده ال ما انتظار داریم مقدار آن بی نهایت باشد.