هدف از اجرای این پایان نامه، طراحی و شبیه سازی یک میکروپمپ پریستالتیک الکترواستاتیکی، برای کاربرد در سیستم های تحویل دارو با استفاده از تکنولوژی میکروماشین می باشد. میکروپمپ پیشنهادی شامل بخش دریچه های ورودی وخروجی و سه دیافراگم است. یک دیافراگم برای محفظه اصلی پمپینگ و دو دیافراگم برای باز و بسته کردن دریچه های ورودی وخروجی استفاده شده است. بخش میکروکانال برای هدایت سیال درون میکروپمپ به سوی دریچه خروجی، و سه تحریک کننده الکترواستاتیکی مجزا برای تحریک کردن جداگانه دیافراگم ها است. میکروپمپ پیشنهادی دارای ساختاری کاملا جدید با ولتاژ تحریک بسیار پایین یعنی با ولتاژ 60% بهینه تر در مقایسه با میکروپمپ های الکترواستاتیکی که قبلا ساخته شده است می باشد. همچنین، به منظور رفع مشکلات نشتی که در دریچه های غیرفعال وجود دارند و همچنین سهولت در باز و بسته شدن آن ها، ساختاری جدید پیشنهاد شده است. در این ساختار، دریچه های ورودی و خروجی با تحریک دیافراگم، توسط نیروی الکترواستاتیک، باز و بسته می شوند. همچنین میکروپمپ پیشنهادی چون کاربرد پزشکی دارد تمام قابلیت ها از جمله، سازگاری قطعات آن با سیالات دارویی، توانایی پر وخالی کردن محفظه پمپینگ با سیال، سرعت جریان مناسب سیال و ابعاد بسیار کوچک در مقایسه با دیگر میکروپمپ های مشابه را داراست. میکروپمپ جدید قادر به تزریق 10 میکرولیتر بر دقیقه سیال با ولتاژ تحریک 5/6 ولت است که برای کاربردهای پزشکی کاملا مناسب می باشد.