تحلیل اگزرژی، یک ابزار قدرتمند در طراحی، بهینه سازی و افزایش کارآیی سیستم های انرژی است. این نوع تحلیل می تواند در شناخت منبع اصلی بازگشت ناپذیری و هم چنین کاهش تولید آنتروپی در فرآیندهای مختلف، نقش بسیار موثری داشته باشد. در واقع اگزرژی مبین کیفیت انرژی است .تحلیل جریان اگزرژی در نیروگاه ها و نیز پمپ های حرارتی زمین گرمایی کمک شایانی به مهندسان و تحلیل گران برای افزایش بازده وکاهش تلفات انرژی که از دیدگاه اقتصادی کاملاً قابل توجه می باشد، می کند. ما در این پایان نامه کوشیده ایم تا آنالیز اگزرژی اجزای اصلی یک پمپ حرارتی زمین گرمایی را انجام داده و روابط حاکم بر آن را به دست آوریم. در فصل اوّل مقدمه ای بر انرژی زمین گرمایی و جایگاه ایران در این خصوص، انواع کاربردها، مزایا و معایب کاربرد نیروگاهی داشته و انواع این نیروگاه ها را مورد بررسی قرار داده ایم. در فصل دوّم مروری بر کارهای انجام شده در این زمینه و دیگر بخش های مرتبط داشته ایم. در فصل سوم توجه خود را بر کاربرد حرارتی این نوع انرژی تجدیدپذیر معطوف داشته و به معرفی پمپ های حرارتی زمین گرمایی نصب شده در کشور عزیزمان ایران پرداخته ایم. سپس مبانی تحلیل اگزرژی را شرح داده و روابط مربوطه را بیان کرده ایم. در نهایت در فصل چهارم به صورت مهندسی معکوس ، روابط اتلاف اگزرژی و بازدهی اگزرژی اجزای اصلی یک پمپ حرارتی زمین گرمایی را به دست آورده و به عنوان مثال بر روی یک سیستم نمونه اعمال نموده ایم. سپس نتیجه گیری و پیشنهاد ارائه شده اند.