در این تحقیق تجربی مورفولوژی سطح، خواص ساختاری، اپتیکی، ترمو الکتریکی و الکتریکی و هم چنین خواص فوتورسانش نانو ساختارهای نیمرسانای اکسید مس (cuo) رشد داده شده به روش افشانه تجزیه حرارتی را بر روی زیرلایه شیشه مورد بررسی قرار داده ایم. برای مشخصه یابی نمونه ها از دستگاه های میکروسکوپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (fesem)، پراش پرتو ایکس (xrd)، دستگاه طیف سنج نوری (uv-vis) و اندازه گیری جریان- ولتاژ استفاده کرده ایم. نمونه های مورد مطالعه در این تحقیق با استفاده از پیش ماده ی استات مس تهیه شدند. در این تحقیق پارامترهای گوناگونی مورد بررسی قرار گرفتند که عبارتند از: اثر تغییر دمای زیرلایه ( 315، 375 و °c440 )، غلظت محلول ( 05/0، 10/0 و m15/0 )، حجم محلول (40، 50 و ml70 ) و نیز تغییر زیرلایه. هم چنین در پایان هر بخش به مطالعه خواص فوتورسانش لایه ها تحت تابش نور مرئی پرداخته شده است. تصاویر fesem حاکی از شکل گیری ذرات و رشته هایی در مقیاس نانو و ذراتی گل مانند است. نتایج طیف های پراش پرتو ایکس نشانگر شکل گیری نمونه ها با ساختار بس بلوری مونوکلینیک در راستای رشد ترجیحی (002) و (111) می باشد. بررسی خواص فوتو رسانایی نمونه ها نشان دهنده ی آن است که مورفولوژی سطح، کیفیت بلوری و ابعاد بلورک ها بر حساسیت نوری آن ها تاثیر گذار است.