در این پژوهش، فیلم های اکسید روی آلاییده شده با منگنز و آلومینیوم به روش اسپری پایرولیزز بر روی زیر لایه شیشه ای تهیه شدند. در ابتدا به مطالعه لایه های نازک اکسید روی می پردازیم. تاثیر تغییرات غلظت روی، دمای زیرلایه و نرخ شارش هوا روی خواص فیزیکی این لایه ها، توسط روش های گوناگون مشخصه یابی، مورد بررسی قرار گرفت. سپس تاثیر آلایش منگنز روی فیلم های zno و آلایش آلومینیوم روی فیلم های znmno مورد بررسی واقع شد. ویژگی های اپتیکی، ساختاری، مورفولوژیکی و مغناطیسی فیلم ها با استفاده از طیف سنجی uv-vis، پراش پرتو ایکس (xrd)، پخش کننده انرژی اشعه ایکس (edx)، طیف سنجی تبدیل فوریه (ft-ir)، میکروسکـوپ الکتـرونی روبشی (sem) و مغناطش سنج نمونه ارتعاشی (vsm) بررسی شد.