پلیمریزاسیون پلاسمایی فرآیندی است که در آن مونومرها توسط پلاسما پلیمریزه می شوند. در پلیمریزاسیون پلاسمایی تبدیل مولکول هایی با وزن مولکولی کم (مونومرها) به مولکول هایی با وزن مولکولی زیاد (پلیمر) به کمک ذرات پرانرژی پلاسما مانند الکترون ها، یون ها و رادیکال ها اتفاق می افتد. مورفولوژی فیلم پلیمری ایجاد شده متاثر از شرایط پلاسما است، بسته به نتایج مورد انتظار شرایط لازم اعمال می شود که شامل نوع گاز پلاسمایی، نوع پلاسما، فشار اعمالی و ... می باشد. در این تحقیق پلیمریزه شدن مونومر noa65 با پلاسمای تخلیه تابان گاز های مختلف(آرگون، هلیوم، نیتروژن، اکسیژن)، تحت فشار های مختلف مورد بررسی قرار گرفت و تاثیری که پلاسما بر پلیمریزه شدن مونومر نوا 65 می‎گذارد، با پلیمریزه شدن توسط نور فرابنفش مقایسه شد. در نهایت، پلاسما موفق به ایجاد فیلم پلیمری با سطوح پرزدار در ابعاد نانو شد.