در این پایان نامه با استفاده از مدل خودکاره سلولی و مدل های رشد سطح به مدل سازی رشد نانو لایه های zno پرداختیم. ما بررسی خود را بر روی رشد لایه های نازک zno متمرکز کردیم. تخلخل و تغییرات زبری را مورد بررسی قرار دادیم. در نهایت نتایج حاصل از شبیه سازی را با نتایج تجربی مقایسه کردیم تا از درست بودن نتایج مطمئن شویم.