یکی از کاربردهای مهم در bio-mems استفاده از دستگاه مایکرو ftir میباشد. طیف سنجی مادون قرمز یکی از روش های مرسوم و مناسب میباشد که از سال ها پیش برای تجزیه و شناسایی برخی مواد، مورد استفاده قرار گرفته است. فرکانس تشعشع الکترومغناطیس در ناحیه مادون قرمز (ir) مطابق با فرکانس ارتعاش طبیعی اتم های یک پیوند میباشد و پس از جذب امواج مادون قرمز در یک مولکول، باعث ایجاد یک سری حرکات ارتعاشی در آن میگردد که اساس و مبنای طیف سنجی مادون قرمز را تشکیل می دهد. دستگاه ftir با استفاده از تبدیل فوریه مزایای زیادی در مقایسه با دستگاه ir معمولی دارد که نمونه آن سرعت بالای جمع آوری اطلاعات و نسبت سیگنال به نویز (snr) بهتر میباشد. از جمله روشهای مرسوم به کار رفته در ftir میتوان به روش الکترواستاتیک اشاره نمود. هدف از این پایان نامه طراحی و امکان سنجی ساخت یک مایکرو ftir می باشد که با روش اپتوفلویدیک در یک بازه طول موج از طیف مادون قرمز برای شناسایی مواد استفاده گردد. در این مطالعه یک آرایش جدید مبتنی بر روش اپتوفلویدیک معرفی گردید که از خاصیت تغییر مسیر فیزیکی نور (opl) وابسته به تغییرات ضریب شکست در یک محیط چند لایه تبعیت می نماید، که نتایج حاصل از شبیه سازی در نرم افزارهای opti-fdtd و ansys تاحد قابل قبولی با نتایج حاصل از روش های دیگر منطبق بود. جنس ساختار پیشنهادی از ماده pdms می باشد که یک پلیمر کاملا منعطف است و ساختار پیشنهادی نیز بر اساس همین خاصیت از این ماده ارائه گردید. در نهایت با بررسی امکانات و تحلیل نتایج، پروسه ی ساخت نهایی پیشنهاد گردید.