روش ترسیب شیمیایی بخار cvd یکی از تکنیک های جدید و رایج در تهیه کاتالیست ها می باشد با استفاده از این روش می توان اتم های فلزات مختلف فاز فعال را از طریق فاز گاز بر روی پایه های متفاوت کاتالیسیتی تثبیت نمود برای بررسی این فرایند از یک مدل ریاضی برای توصیف فرآیند ترسیب شیمیایی بخار cvd در تهیه کاتالیست ها استفاده می شود و اثر سینتیک های متفاوت بر روی آن برسی می شود نتایج حاصل از مدلسازی با استفاده از پروفیل های متداول فاز فعال در دانه کاتالیست توجیه می شود و یا با تنایج تجربی انطباق داده می شود در نهایت با استفاده از سینتیک های مشاهده شده در مراجع یک معادله عمومی ارایه شده حالت های پارامتری آن بررسی شده و پروفیل های فاز فعال مربوطه برای هر مورد به دست امده است از این معادله می توان برای تخمین پروفایل رسوب مواد بامعادلات شبیه به معادله عمومی با پارامترهای مشخص استفاده نمود فازهای بررسی شده شامل sic,ni و tin می باشد.