در این پایان نامه، نانوساختارهای لایه نازک اکسید وانادیوم با ناخالصی فلوئور وآلومینیم، به روش شیمیایی اسپری پایرولیزیز در دمای ثابت c°450 تهیه شدند. اثر افزایش ناخالصی فلوئور و آلومینیوم با درصدهای مختلف، روی ویژگی های ساختاری،الکتریکی و اپتیکی اکسید وانادیوم بررسی شد. طرح پراش پرتو x به دست آمده از لایه های نازک، حضور فازهای اکسید وانادیوم را تائید می کند. تصاویر sem نشان دادند که دانه ها میله ای شکل و کروی بودند که با افزایش ناخالصی اندازه دانه ها به طور کلی کاهش یافت. نتایج eds نیز وجود فلوئور و آلومینیوم را در ساختار لایه های نازک وانادیوم با ناخالصی های فوق، تائید می کند. جایگزینی اتم های فلوئور و آلومینیوم در ساختار وانادیوم موجب شده تا قله های جذب در طیف به سمت عدد موج های بزرگتر جابجا شوند. همچنین، طیفuv-vis تهیه شده از لایه های نازک و نتایج مربوط به آن ها نشان می دهد که با افزایش ناخالصی فلوئور و آلومینیوم در ساختار اکسید وانادیوم جذب اپتیکی کاهش و گاف انرژی نانوساختارها افزایش می یابد.