Ion flux and energy virtual sensor for measuring ion flux and energy distribution at a RF biased electrode in ICP reactor (RIE-mode)
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
economic optimization and energy consumption in tray dryers
دراین پروژه به بررسی مدل سازی خشک کردن مواد غذایی با استفاده از هوای خشک در خشک کن آزمایشگاهی نوع سینی دار پرداخته شده است. برای آنالیز انتقال رطوبت در طی خشک شدن به طریق جابجایی، یک مدل لایه نازک برای انتقال رطوبت، مبتنی بر معادله نفوذ فیک در نظر گفته شده است که شامل انتقال همزمان جرم و انرژی بین فاز جامد و گاز می باشد. پروفایل دما و رطوبت برای سه نوع ماده غذایی شامل سیب زمینی، سیب و موز در طی...
15 صفحه اولLOW-ENERGY-ION ENHANCED DIFFUSION AT THE SURFACE OF METALS
Radiation enhanced diffusion at the surface of metals has been observed and studied for low-energy nitrogen ions at the surface of copper. The displacement of the target atoms during irradiation creates vacancies and other defects near the surface, thus enhancing the diffusion of implanted materials toward the surface and also into the solid. The mechanism has been studied here by a specia...
متن کاملsupply and demand security of energy in central asia and the caucasus
امنیت انرژی به معنی عرضه مداوم و پایدار همراه با قیمت های معقول در حامل های انرژی، که تهدیدات امنیتی، سیاسی، اقتصادی، محیط زیستی و روانی را کاهش دهد. امروزه نفت و گاز تنها، کالای تجاری نیست بلکه بعنوان ابزار سیاسی مورد استفاده قرار می گیرد.اختلاف میان روسیه و اکراین بر سر انرژی در ژانویه 2006، تهدیدی برای امنیت انرژی اروپا ایجاد کرد. در این تحقیق ما تلاش کردیم که نقش انرژی آسیای میانه و قفقاز ر...
15 صفحه اولIon energy distributions in inductively coupled plasmas having a biased boundary electrode
In plasma materials processing there is a continuing need to control the ion energy distributions (IEDs) on surfaces to increasing precision. A recent development in obtaining this control in inductively coupled plasmas (ICPs) is the use of a boundary electrode in which a continuous or pulsed dc bias is applied to the plasma. The characteristics of IEDs onto a grounded substrate in ICPs having ...
متن کاملIon energy distributions in rf sheaths; review, analysis and simulation
We present a review and analysis of ion energy distributions (IED) arriving at the target of a radio frequency (rf) discharge. We mainly discuss the collisionless regime, which is of great interest to experimentalists and modellers studying high-density discharges in which the sheath is much thinner than in conventional reactive ion etching systems. We assess what has been done so far and deter...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of Physics: Conference Series
سال: 2016
ISSN: 1742-6588,1742-6596
DOI: 10.1088/1742-6596/768/1/012016