استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب‌دوست‌شده پلیمر PMMA
نویسندگان
چکیده مقاله:
روش‌های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن‌ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته‌اند. در این مقاله، روشی مفید و کم‌هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته‌سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر SU-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه‌ای ساخته‌شده است. فرآیند حرارتی مورد استفاده در این روش شامل پارامترهای مهمی همچون دما و فشار می‌باشد که همگی مورد بررسی قرار گرفته‌اند. برای اینکه بتوان از ساختار ایجادشده در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود، بستر آب‌گریز PMMA، آب‌دوست گردیده تا بتوان از آن در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود. همچنین در این مقاله ساختارهایی با کمینه ابعاد 15 میکرومتر و ارتفاع 50 میکرومتر ساخته‌شده‌اند که برای کاربردهای میکروفلویدیکی قابل قبول می‌باشد. ویژگی‌های بارز این روش ساخت، سادگی به دلیل عدم به‌کارگیری تجهیزات پیشرفته آزمایشگاهی و هزینه کم به سبب استفاده از زیرلایه شیشه‌ای برای مهر و ورق‌های پلکسی به‌عنوان بستر می‌باشند.
منابع مشابه
استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب دوست شده پلیمر pmma
روش های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته اند. در این مقاله، روشی مفید و کم هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر su-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده است. فرآیند حر...
متن کاملتحلیل تجربی و عددی شکست پلیمر PMMA تحت مود مرکب
معمولاً بروز شکست در پلیمرها بر اثر اعمال بارگذاری ترکیبی کششی – برشی به وقوع می‌پیوندد. آزمایش آرکان که در اصل برای مواد کامپوزیتی طراحی شده است، در سال‌های اخیر توسط بسیاری از محققان برای مواد همگن مورد استفاده قرار گرفت. در این پژوهش برای دستیابی به مقادیر بحرانی شکست، نمونه های آزمون به شکل پروانه ای از جنس پلیمر پلی متیل متاکریلات تهیه شد. آزمون نمونه ها در سه طول ترک مختلف و سه مود اول و م...
متن کاملاثر پلاسمای rf بر روی خواص سطحی پلیمر pmma
در این پایان نامه اثر پلاسمای رادیوفرکانسی اکسیژن بر ویژگی های سطحی پلیمر pmma از جمله زاویه تماس، انرژی سطح، زبری و سختی سطح و همچنین مورفولوژی سطح بررسی شده است. پلاسمای گازی توسط مولد رادیوفرکانسی 6/13 مگاهرتز تولید شده است. تغییرهای ایجاد شده بر سطح پلیمر بر اساس تابعی از زمان پردازش مورد مطالعه قرار گرفته است. در ابتدا زاویه تماس نمونه ها و انرژی آزاد آن ها توسط روش اونز- وندت اندازه گیری ...
15 صفحه اولایجاد پوشش روانکار جامد دی سولفید مولیبدن روی فولاد با استفاده از روش رسوب بخار شیمیایی
دی سولفید مولیبدن (MoS2) یکی از پرکاربردترین روانکارهای جامد است که به روش‌های مختلف، روی سطوح تحت سایش اعمال می‌شود. در این پژوهش با استفاده از روش رسوب بخار شیمیایی (CVD) پوشش MoS2 در دماهای 400، 500، 600 و 700 درجه سانتیگراد، روی زمینه فولادی اعمال شد. پوشش با استفاده از EDX، XRD، FTIR، سختی سنج و زبری سنج، مشخصه یابی شد. نتایج نشان داد که با تبخیر همزمان پودر گوگرد و ...
متن کاملکاربرد روش سطح پاسخ برای تخریب فتوکاتالیستی رنگ با استفاده از نانولوله های اکسید روی بر روی بستر کربن فعال
در این کار اکسید روی با مورفولوژی لوله بر روی کربن فعال (ZnO NRs-AC) با استفاده از روش هم رسوبی برای تخریب نوری رنگ مالاشیت گرین (MG) تحت نور UV سنتز شد. فتو کاتالیست با استفاده از تکنیک های مختلف از جمله XRD و FE-SEM مشخص شد. طراحی Box-Behnken (BBD) همراه با روش سطح پاسخ (RSM) برای بهینه سازی پارامترهای تأثیرگذار مورد استفاده قرار گرفت. مقادیر بهینه برای پارامترهای مربوطه به شرح زیر است: مقدار...
متن کامللیتوگرافی با استفاده از فروسیال
فروسیالی بر پایه آب حاوی نانوذرات مگنتایت (fe3o4) و مگمایت (fe2o3-?) به روش هم رسوبی تهیه گردید. نتایج طیف سنجی فرابنفش – مرئی (uv-vis.) وجود هر دو فاز مگنتایت و مگمایت را نشان می دهد. نمونه های مختلفی تولید و مورد بررسی قرار گرفت. تصاویر میکروسکوپی گرفته شده از لایه ی فروسیال تحت تاثیر میدان مغناطیسی، موید تشکیل الگوهایی به صورت نقاط تاریک می باشد. این الگوها با تغییر شدت میدان مغناطیسی تغییر ...
منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
عنوان ژورنال
دوره 46 شماره 2
صفحات 127- 133
تاریخ انتشار 2016-07-22
با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.
کلمات کلیدی
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023