شبیه‌سازی مونت کارلوی فرایند لایه نشانی با لیزر پالسی و بررسی تغییر فاصله هدف تا زیرلایه بر مشخصات لایه‌ها

نویسندگان

  • محمدرضا رشیدیان وزیری استادیار، فیزیک، پژوهشکده فوتونیک و فناوری‌های کوانتومی، پژوهشگاه علوم و فنون هسته‌ای، تهران، ایران
چکیده مقاله:

در این مقاله، فرایند لایه نشانی با لیزر پالسی و در حضور گاز پس‌زمینه به روش مونت کارلو شبیه‌سازی شده است. به طور خاص رشد فلز آلومینیوم در محیط گاز زنون پس‌زمینه و در فشار 50 میلی تور شبیه‌سازی شده است. فواصل هدف - زیرلایه برابر با 10، 15، 20، 25 و 30 میلی متر در شبیه‌سازی‌ها مورد استفاده قرار گرفته‌اند. اطلاعات مکانی و انرژی توده یون‌های پلاسمایی شکل گرفته در این روش و نیز اطلاعات مشابه برای یون‌های کندوپاش شده از سطح لایه درحال رشد جمع‌آوری شده‌اند. توزیع ضخامتی لایه‌ها با استفاده از اطلاعات یون‌های عبوری و کندوپاش شده از سطح لایه محاسبه شده است. نتایج نشان‌دهندۀ احتمال شکل‌گیری حفره در مرکز لایه‌های درحال رشد به این روش و تشدید آن با کاهش فاصله هدف - زیرلایه است. نتایج شبیه‌سازی بیانگر نقش مؤثر یون‌های کندوپاش شده از سطح لایه در شکل‌گیری این نوع حفره‌ها است. 

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

تاثیر جنس و فاصله زیرلایه روی ویژگیهای لایه نشانی نانو پودر آلومینا به روش پاشش پلاسمایی

In this paper, the effect of the material and distance of the substrate on the characteristics of gamma alumina nanopowder coated by plasma spray method are investigated. For this purpose alumina nanopowder were coated on the two types of stainless steel and Pyrex glass substrates using a plasma torch. Morphological characteristics of the prepared nanolayer are studied by investigating the scan...

متن کامل

تأثیر فشار اکسیژن بر ساختار، هدایت الکتریکی و نفوذپذیری اکسیژن لایه های نازک Ba0/5Sr0/5Co0/8Fe0/2O3-δ ساخته شده با لایه نشانی لیزر پالسی

 In this paper, Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ (BSCF) thin films were deposited on single crystal SrTiO3 (STO) (100) by pulsed laser deposition (PLD) technique at different pressures of oxygen. Crystal structure of bulk and thin film samples was studied by x-ray diffraction (XRD). The XRD results indicate that both bulk and thin film samples have cubic structures. AFM micrographs showed an increase i...

متن کامل

مقایسه تأثیر وضعیت طاق باز و دمر بر وضعیت تنفسی نوزادان نارس مبتلا به سندرم دیسترس تنفسی حاد تحت درمان با پروتکل Insure

کچ ی هد پ ی ش مز ی هن ه و فد : ساسا د مردنس رد نامرد ي سفنت سرتس ي ظنت نادازون داح ي سکا لدابت م ي و نژ د ي سکا ي د هدوب نبرک تسا طسوت هک کبس اـه ي ناـمرد ي فلتخم ي هلمجزا لکتورپ INSURE ماجنا م ي دوش ا اذل . ي هعلاطم ن فدهاب اقم ي هس عضو ي ت اه ي ندب ي عضو رب رمد و زاب قاط ي سفنت ت ي هـب لاتـبم سراـن نادازون ردنس د م ي سفنت سرتس ي لکتورپ اب نامرد تحت داح INSURE ماجنا درگ ...

متن کامل

تأثیر فشار اکسیژن بر ساختار و هدایت الکتریکی لایه های نازکba۰.۵sr۰.۵co۰.۸fe۰.۲o۳-δ در لایه نشانی لیزر پالسی

در این مقاله، پودرba0.5 sr0.5 co0. 8 fe0.2 o3-δ (bscf)  با هدف استفاده به عنوان کاتد پیل سوختی اکسید جامد به روش سل- ژل ساخته شد. همچنین، لایه های نازک  bscf روی زیر لایه(sto)  srtio3، به روش لایه نشانی لیزر پالسی (pld) در فشارهای مختلف اکسیژن لایه نشانی شد. ساختار بلوری این نمونه ها توسط پراش پرتو x (xrd) و مورفولوژی سطح لایه ها توسط میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) بررسی شد. اندازه گیری مقاومت الکت...

متن کامل

مدلسازی فازی ضخامت لایه در فرایند لایه‌نشانی به‌کمک لیزر پالسی و بهینه‌سازی آن با الگوریتم اجتماع ذرات

امروزه آلیاژ تیتانیوم Ti-6Al-4V به‌دلیل خواص فیزیکی و مکانیکی همچون استحکام بالا، چگالی کم نسبت به فولاد، مقاومت عالی در برابر خوردگی و قابلیت جوشکاری بالا در صنعت مورد توجه قرار گرفته است. یکی از کاربردهای آلیاژ تیتانیوم Ti-6Al-4V که منجر به بهبود خواص مکانیکی قطعات فولادی می­گردد، استفاده از آن در فرایند لایه­نشانی است. در مقالة حاضر از منطق فازی برای مدلسازی فرایند لایه­نشانی به‌کمک لیزر پال...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


عنوان ژورنال

دوره 1  شماره 3

صفحات  9- 16

تاریخ انتشار 2017-02-19

با دنبال کردن یک ژورنال هنگامی که شماره جدید این ژورنال منتشر می شود به شما از طریق ایمیل اطلاع داده می شود.

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023