در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...

سیستمهای نانو الکترومکانیکی یکی از پرکاربردترین زمینههای علم نانو است. به منظور طراحی و استفاده بهینه از این سیستمها، ناگزیر به مطالعه خواص مکانیکی آنها هستیم. از جمله خواص مکانیکی این سیستمها میتوان به ناپایداری کششی، جابجایی استاتیکی، خواص ارتعاشی و کمانش آنها اشاره نمود. در این پژوهش، کمانش دو نوع سیستم نانو الکترومکانیکی تیر شکل دارای دو الکترود ساکن متقارن و نیز سیستمهای دارای یک الکترود س...

در این مقاله، یک میکروفن خازنیMEMS  جدید تک تراشه بر روی ویفر سیلیکونی با کمینه کردن اندازه و کاهش استحکام  مکانیکی با استفاده از دیافراگم دایروی با مرکز ثابت پیشنهاد شده است. در میکروفن پیشنهادی دیافراگم شامل تعدادی حفره می‌باشد که موجب عبور هوا در شکاف مابین صفحه پشتی و دیافراگم می‌شود و به این ترتیب میرائی مربوط به صدا را در میکروفن کاهش می‌دهد. ‌تازگی این روش، ایجاد میکروفن دایروی با مرکز ث...

نانولوله های کربنی یکی از ساختارهای کربن می باشند که اولین بار به طور اتفاقی در سال 1991 توسط پژوهشگر ژاپنی به نام «سومیوایجیما» متخصص میکروسکوپ آزمایشگاهnec، کشف شدند . این نانو مواد به دلیل خواص الکتریکی و مکانیکی منحصر به فردی که دارند مورد توجه دانشمندان قرار گرفتند . خواص ویژه نانولوله های کربنی(نسبت طول به قطر بسیار بزرگ آنها) سبب گردیده است که از آنها جهت بهبود توسعه کامپوزیتها ، سیستمها...

هدف اصلی در این پایان نامه طراحی میکرو حسگر کنترل از راه دور حرارتی با بررسی پاسخ دینامیکی و ارتعاشات غیر خطی است که در آن میکرو تیر یک سر گیر دار، از جنس مواد متغیر تابعی بوده و در معرض منبع حرارتی سینوسی قرار دارد.معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض اویلر برنولی بودن تیر و با استفاده از معادلات لاگرانژ و اصل همیلتون به دست آمده و معادلات ترموالاستیک با استفاده از قانون اول ترمودینامیک ...

در دهه اخیر مدل کردن ناپایداری سازه های نانویی علاقه مندان زیادی را درزمینه نانو مکانیک و مکاترونیک به خود جلب کرده است. سوئیچ های نانو مکانیکی اساس ساخت و طراحی سیستم های میکرو الکترومکانیکی مانند نانو عملگرها هستند. یک نوع معمول سیستم های میکرو الکترومکانیکی نانو تیرهای دو سر درگیر بوده که در آینه های میکرو استفاده می شود. در مقیاس نانو کاهش فاصله بین دو الکترود باعث ایجاد تعامل مولکولی نیروی...

اخیرا، در صنعت درخواست برای شتاب سنج های mems با توان پایین برای کاربردهای مختلف اعم از نظامی و پزشکی،سیستم ناوبری،سیستم پایداری خودرو و... افزایش یافته است. شتاب سنج های mems شامل یک قسمت حسگر و مدار رابط الکترونیکی می باشد.در این پروژه ابتدا ساختار مناسب برای خروجی دیجیتال حسگر انتخاب شده و باتوجه به مزیت های مبدل ?? این مبدل به صورت سیستماتیک در نرم افزار متلب شبیه سازی شده سپس شتاب-سنج الکت...

این پایان نامه به بررسی اثرات پارامتر مقیاس طول روی پایداری و فرکانس اصلی میکرو صفحات مستطیلی و دایره ای می پردازد که در دستگاه های rf mems کاربرد دارند. با استفاده از تئوری تنش کوپل پیراسته، معادلات حاکم بر میکرو صفحات کیرشهف و میندلین با تحریک الکترو استاتیکی استخراج می شوند. محدوده ی پایداری میکرو صفحات بر پایه ی تئوری تنش کوپل پیراسته تعیین شده و با مقادیر به دست آمده از تئوری کلاسیک مقایسه...

تکنولوژی سیستم های میکرو و نانو الکترومکانیکی در سال های اخیر پیشرفت های زیادی داشته است. این سیستم ها به دلیل سایز کوچک، وزن کم و مصرف انرژی پایینشان به طور گسترده ای در محرک ها و حسگرها مورد استفاده قرار می گیرند. اعمال ولتاژ الکتریکی یکی از ساده ترین و پرکاربردترین روش های تحریک و اندازه گیری مقدار تغییر شکل در این سیستم ها می باشد. میکرو و نانو تیرهای تحریک شده با ولتاژ در دستگاه هایی چون م...

هدف اصلی در این پایان نامه طراحی و معرفی یک میکرو حسگر سرعت زاویه ای و بررسی رفتار مکانیکی آن است که در آن میکرو تیر دو سر گیر دار، در معرض تحریک نیروی الکترواستاتیک و گریز از مرکز می باشد. معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض تیر اویلر برنولی به دست آمده است. برای حل استاتیکی این معادلات با استفاده از روش خطی سازی گام به گام حل گردید، سپس با استفاده از روش کاهش مرتبه گلرکین این معادلات خ...