در این پایان نامه گزارشی از مراحل مختلف طراحی، ساخت و بالیدن یک سامانه برای تبخیر مواد و لایه نشانی در خلأ ارائه می شود. هدف پایان نامه استفاده از بمباران الکترونی به جای روش های مقاومتی برای تبخیر مواد دیرگداز که باعث واکنش با مواد مختلف، تبخیر مواد ترکیبی (غیر خالص) و در نتیجه آلودگی لایه های نشانده می شدند، بوده است. این سامانه از سه بخش مهم منبع الکترونی، منبع تغذیه ولتاژ بالا برای شتاب داد...

در این تحقیق مکانیزم تبخیر بوسیله بیم الکترونی بررسی گردیده و در این راستا مدل ریاضی برای محاسبه سرعت تبخیر براساس پارامترهای بیم الکترونی ارائه گردیده است. جهت نیل و رسیدن به این هدف ابتدا اندرکنش پرتوالکترونی با سطح بررسی گردیده و سپس به بررسی مکانیزم تبخیر، سرعت تبخیر و تعیین متغیرهای موثر بر این دو مقوله و نوع تاثیر آنها پرداخته شده است. مدل ریاضی و برنامه کامپیوتری ارائه شده قادر به محاسبه...

تکنولوژی پرتو الکترونی کاربردهای بسیار مهمی در زمینه های مختلف مانند جوش کاری، تبخیر، لایه نشانی، ذوب، اسپکترومترها و میکروسکوپ های الکترونی دارد. تفنگ الکترونی ابزار بسیار سودمندی برای تولید پرتو الکترونی می باشد و با کانونی کردن آن توسط لنزهای مغناطیسی و الکتریکی، توزیعی کانونی از پرتو روی هدف به دست می آید. در تفنگ های الکترونی استفاده شده در تولید بخار، فشار محفظه کمتر از 5-10 تور بوده و ان...

In this paper, the vacuum film deposition through electron beam evaporation has been reviewed and the effect of magnetic field on the operation of this system has been explained. Then, the magnetic field distribution due to magnetic components configuartion of a commercial evaporation source with 270-degree electron beam gun (manufactured by Sharif University Branch of ACECR), has been simulate...

لایه های نازک تیتانیوم با روش تبخیر به وسیله باریکه الکترونی با ضخامت 70 نانومتر تهیه و سپس در دماهای مختلف  K 573-300 در حضور شار ثابت اکسیژن بازپخت شدند. نانو ساختار و جهت های  کریستالو گرافی با استفاده از آزمایش پراش پرتو-X تحلیل و خواص اپتیکی نمونه ها با استفاده از دستگاه اسپکتروفوتومتر بررسی شد. با بازپخت  نمونه ها نتایج حاصل از XRD شکل گیری جهت کریستالی A(004) مربوط به فازآناتاس دی اکسید ...