این مقاله، برهم­کنش تپ­های لیزر با شیشه­ی BK7 را مورد مطالعه قرار می­دهد. با بررسی ابعاد سطح کندوسوز شده، شاریدگی آستانه برای کندوسوز سطحی شیشه با تپ­های 40 fs با طول­موج مرکزی nm 800، در حدود 2.7 J/cm-2 به دست آمد. با انتقال محل کانون لیزر به زیر سطح و تغییر سرعت جابه‌جایی باریکه­ی لیزر فمتوثانیه عمق شیشه با تپ‌های لیزر فمتوثانیه میکروماشین کاری شد. با استفاده از تصویرهای دوربین CCD...

از آنجائیکه کانتیلیور ها پایه و اساس بیشتر قطعات مبتنی بر ساختارهای mems می باشند، در این مقاله فرآیند ساخت کانتیلیور با فناوری میکرو ماشین کاری حجمی بیان شده است و از آن فرآیند برای ساخت آرایه ای از میکروکانتیلیورهای تک ماده ای از جنس sio2 استفاده شده است. نتایج حاصل از این مقاله می تواند پایه و اساس طراحی و ساخت حسگرهایی باشد که بر پایه کانتیلیور از جنس sio2 استوار است. طراحی فرآیند ساخت کانت...

در این پایان نامه، نحوه ی ساخت کانال میکرونی مخروطی با استفاده از روش لیتوگرافی نوری و لیتوگرافی نرم بررسی شده است. روش های مختلفی که برای طراحی و ساخت قالب های میکرونی به کار می روند، به نام میکروماشین کاری شناخته می شوند. میکروماشین کاری با تولید سازه های میکرواپتیکی و میکروالکترونیک به روش لیتوگرافی پا به عرصه گذاشت. ساخت اَدوات میکرونی در کوتاه ترین زمان یکی از مشکلات کارهای آزمایشگاهی است....

با توسعه ریزفناوری میکروماشین کاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده اند. جنس الکترود گرم-کننده یکی از عوامل تاثیرگذار در میزان اتلاف توان، پاسخ زمانی و حساسیت میکروهیتر می باشد. در این مقاله دو میکروهیتر با هندسه یکسان، اما با دو فلز مختلف بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشین کاری حجمی (mems) طراحی، ساخته و مشخصه یابی شده اند. در میکروهیتر اول از...

دو نوع سوییچ میکروماشینی جدید با ولتاژ تحریک و استرس پائین در این پایان نامه طراحی و ارائه شده است.ساختار اول، از نوع سوئیچ های خازنی است.ساختار دوم از نوع میکروسوئیچ های چرخشی است.

هدف از اجرای این پایان نامه، طراحی و شبیه سازی یک میکروپمپ پریستالتیک الکترواستاتیکی، برای کاربرد در سیستم های تحویل دارو با استفاده از تکنولوژی میکروماشین می باشد. میکروپمپ پیشنهادی شامل بخش دریچه های ورودی وخروجی و سه دیافراگم است. یک دیافراگم برای محفظه اصلی پمپینگ و دو دیافراگم برای باز و بسته کردن دریچه های ورودی وخروجی استفاده شده است. بخش میکروکانال برای هدایت سیال درون میکروپمپ به سوی د...

در این پایان نامه یک شتاب سنج خازنی سه محوره با استفاده از تکنولوژی میکروماشین و تنها با یک جرم متحرک طراحی و شبیه سازی شده است. این شتاب سنج با استفاده از تکنولوژی میکروماشین کاری سطحی طراحی شده است. شتاب سنج پیشنهادی از پنج گروه خازنی تشکیل یافته است، دو گروه که در ربع اول و سوم مثلثاتی قرار دارند شتاب در جهت x را اندازه گیری می کنند و دو گروه دیگر که در ربع دوم و چهارم مثلثاتی قرار دارند برا...

در این پایان نامه طراحی و شبیه سازی فیلترهای میانگذر قابل تنظیم برای کاربردهای فرکانس بالا با استفاده از فنآوری میکروماشین ارائه شده است. طرح مدار پیشنهادی، فیلتر میانگذر چبی‏شف معکوس درجه سه، با اندازه سلف‏های ثابت و سوئیچ‏های فرکانس بالا به عنوان خازن متغیر می باشد. پیاده سازی مدار هم بصورت المان‏های فشرده انجام شده‏ است. متغیر بودن پهنای باند و فرکانس مرکزی به صورت همزمان، قرارگیری قطب‏ها در...

در این مقاله، آشکارساز مادون قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیه­سازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده ای و ایزوله و ستون­های نگه­دارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایه­ای از جنس دی اکسید سیلیکون (sio2) به ضخامت µm1 و آلومینیوم (al) به ضخامت nm200 است. در این آشکارساز، میزان جذب ir و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده ای ...

این مقاله به بررسی و تحلیل رفتاری لایه برداری سطحی ناهمسان­گرد سیلیکون (100) در هیدروکسید آمونیم­ تترامتیل(tmah) پرداخته است. فرآیند حکاکی در محلول tmah با غلظت­های مختلف 5%، 10%، 15% و 25% و در دماهای مختلف oc 70، oc 80 و oc90 انجام شد. نتایج نشان می­دهد که نرخ زدایش با افزایش دما، افزایش می­یابد ولی این نرخ با افزایش غلظت tmah در غلظت­های بیشتر از 10% کاهش می­یابد. بیشترین نرخ زدایش برابر با ...