اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل

ضخامت لایه های نازک از جمله مهمترین پارامترهای مرتبط با لایه های نازک است ،چراکه تقریباً تمامی خواص آنها را می توان با دانستن ضخامت ، بدست آورد.روشهای اپتیکی و غیر اپتیکی بسیاری برای اندازه گیری ضخامت ابداع شده و مورد استفاده قرار می گیرند.در این تحقیق روش اندازه گیری ضخامت با استفاده از پراش فرنل در بازتاب مورد بررسی قرار گرفته است.نشان داده شده که استفاده از رفتار نمایانی فریزهای حاصل از پراش از یک لایه نازک که به شکل پله ایجاد شده ،ما را قادر می سازد تا با دقت چند نانومتر مستقیماٌ ضخامت لایه را بدست آوریم.دراین مطالعه از دوطول موج 532 و633 نانومتر به عنوان منبع نوری استفاده شد و با استفاده از آنها تعدادی از لایه های نازک فلزی پله ای شکل را که ضخامت آنها بین 30 تا 500 نانومتر بود را مورد مطالعه قرار دادیم.نتایج حاصل در هر دو طول موج از همخوانی بسیار خوبی برخوردار بودو برای حصول اطمینان این نتایج را با نتایج بدست آمده از یک روش دیگر مقایسه نمودیم که این بار نیز نتایج دو روش همپوشانی مطلوبی دارند.با توجه به نتایج این تحقیق به نظر می رسد که استفاده از پراش فرنل برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک به دلایلی نظیر آسان بودن،دقیق بودن ، کارآمدی در گستره وسیعی از ضخامتها(از چند نانومتر تا چند صد نانومتر)و... قابلیت کاربرد گسترده در صنعت لایه های نازک را دارد.