طراحی و ساخت سیستم pa-ltcvd برای کاهش دمای لایه نشانی و آنالیز نتایج توسط ftir
پایان نامه
- وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه قم - دانشکده علوم
- نویسنده زهرا حضوربخش
- استاد راهنما سیروس راستانی
- تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
- سال انتشار 1390
چکیده
لایه های اکسیدی به روشی جدید در محدوده دمایی بالاتر از 140 درجه سانتیگراد و فشارهای 4 الی 20 تور در نسبت های مختلف گازی o2/sih4 تهیه شده اند که دارای نرخ لایه نشانی بین 0 -500 آنگسترم در دقیقه و نرخ لایه برداری بین 50-110 آنگسترم در ثانیه و میدان های شکست از مرتبه مگاولت بر سانتیمتر بوده که از لحاظ کیفیت بسیار نزدیک به لایه های اکسید حرارتی می باشند. آنالیز لایه های اکسیدی تهیه شده به وسیله ft-ir نشان می دهد که این لایه ها دارای خواص جذبی شبیه به sio2 می باشند و پیک های باندهای کششی و خمشی در cm-1 1078 و cm-1 820 کاملا مشهود می باشند. مقاومت لایه های تهیه شده در مقابل اسیدhf : h2o 1 به 10 نرخ لایه برداری 50-110 آنگسترم در ثانیه می باشد.
منابع مشابه
منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده{@ msg_add @}
نوع سند: پایان نامه
وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه قم - دانشکده علوم
میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com
copyright © 2015-2023