بررسی نظری فرآیند کندوپاش پلاسمایی به منظور ارایه ی یک فرمول نیمه تجربی واحد برای آهنگ کندوپاش

امروزه کاربرد وسیع تخلیه ی الکتریکی در تولید پلاسما های غیر حرارتی روشی است که در چند دهه ی اخیر مورد توجه قرار گرفته است . پلاسما ی تخلیه ی الکتریکی اعم از تخلیه های dc، rf و مایکروویو، کاربردهای فراوانی در زمینه های مختلف پزشکی ، دارو سازی ، هوا فضا ،صنعت و... دارد . یکی از عمده ترین کاربرد های پلاسمای تخلیه الکتریکی، کندوپاش می باشد . از کندوپاش پلاسمایی در زمینه ی لایه نشانی سطح رساناها ، نیمه رساناها وعایق ها استفاده می شود . پیشرفت روز افزون ساخت لایه های نازک به روش کندوپاش پلاسمایی و بررسی تجربی نتایج آن و ارایه ی مقالات علمی متعدد ، زمینه ای فراهم آورد تا تعدادی ازمحققین به بررسی تئوری آن بپردازند . ارایه ی تعدادی از فرمول های نیمه تجربی مختلفی از سوی این محققین و مقایسه ی آن با نتایج و نمودار های تجربی آهنگ کندوپاش ، ما را به تحقیق در این زمینه علاقه مند کرد ودر این پروژه سعی شد با مطالعات وسیع از منابع مختلف در زمینه ی کندوپاش، درک تئوری بهتری نسبت به آهنگ کندوپاش و لایه نشانی حاصل گردد. نظریه زیگموند یکی از معتبرترین نظریه ها در زمینه کندوپاش است بطوریکه فرمول حاصل از این نظریه تقریبا" در توافق نسبتا" خوبی با داده های تجربی است. در این تحقیق، بر اساس این نظریه، عامل انرژی آستانه نیز در فرمول آهنگ کندوپاش اعمال شده است، همچنین با تعریف به عنوان تابعی از نسبت های جرمی اتمهای هدف وپرتابه و اعمال اصلاحات دیگری مانند سطح مقطع توقف ناکشسان الکترونی در انرژی های خیلی بالای یونی ، فرمولهای جدیدی برای آهنگ کندوپاش بر حسب انرژی یون فرودی(فرود نرمال) استخراج شده است. نمودارهای این فرمول ها رسم گردیده و همچنین ضرایب آنها از طریق برازش با داده های تجربی آهنگ کندوپاش هدف های مختلف توسط یون های فرودی آرگون، با استفاده از نرم افزار matlab تعیین گردیده است. انحراف به ازای هر یک از مقادیر داده های تجربی و همچنین بیشینه انحراف، محاسبه شده است. نتایج، نشان دهنده توافق خوب فرمول های نیمه تجربی بدست آمده با داده های تجربی است.