تحلیل رفتار دینامیکی نانو تشدیدگر الکترومکانیکی با استفاده ازتئوری الاستیسیته غیر محلی

با گسترش نانوفناوری، کاربرد nems/ mems روزبه‏روز افزایش یافته است. این سیستم‏ها در حسگرها، تشدید‏گرها، فیلترها و... به‏صورت گسترده مورد استفاده قرار می‏گیرد. در نانو تشدید‏گرها با افزایش ولتاژ بین دو الکترود، نیروی اعمالی افزایش یافته و باعث چسبش ناگهانی الکترود متحرک به الکترود ثابت می‏گردد. ماهیت غیر خطی نیروی اعمالی بین دو الکترود، باعث وقوع پدیده‏های غیر خطی شده و حل این سیستم را با چالش روبه‏رو کرده است. در تحلیل رفتار دینامیکی این سیستم‏ها سوال مهم این است که آیا معادلات کلاسیک حاکم بر رفتار استاتیکی و دینامیکی تیرها در ضخامت‏های حدود چند میکرونانو دارای اعتبار است؟ نتایج تجربی نشان داده است که رفتار میکرونانوتیرها در ضخامت‏های بسیار کوچک با معادلات کلاسیک قابل بیان نیست