نام پژوهشگر: زهرا خورشیدی میانایی

سنتز و بررسی ترکیبات la2o3 در نانو قطعات الکترونیکی
پایان نامه وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه مازندران - دانشکده علوم پایه 1391
  زهرا خورشیدی میانایی   علی بهاری

پیشگویی مور، یک مقدار تخمینی از مقیاس گذاری است که به پیشگویی کام بخش تبدیل شده است که رشد نمایی صنعت نیمه رسانا و ترانزیستور اثر میدان فلز- اکسید- نیمه رسانا (mosfet) را از چهار دهه پیش سبب شده است. هم سوی پیشگویی مور، توسعه-های آتی صنعت نیازمند نانو ترانزیستورهایی با گیت اکسید با ثابت دی الکتریک بالا و انرژی گاف نواری بزرگ تر برای جایگزین کردن اکسید سیلیکون است. در کار حاضر، ما یک سری از آزمایش ها را برای سنتز la2o3 با عمل سل- ژل شرح می دهیم و همچنین خواص نانو ساختاری آن را برای یافتن یک گیت دی الکتریک خوب، با تکنیک های پراش پرتو x (xrd)، طیف سنج تابش مادون قرمز تبدیل فوریه (ftir)، میکروسکوپ نیروی اتمی (afm)، میکروسکوپ اسکن الکترونی (sem)، طیف پاشندگی پرتو ایکس (edx)، میکروسکوپ تراگسیل الکترونی (tem) و ولتاژ- چرخه ای (c-v) مطالعه و بررسی می کنیم. نتایج بدست آمده نشان می دهد که la2o3 با ساختار آمورف و ثابت دی الکتریک بالا می تواند برای جایگزینی sio2 در تولیدات آینده قطعات ترانزیستور معرفی شود.