در این تحقیق یک روش حلقه بسته جهت اندازه گیری تبخیر ارائه می شود. این اندازه گیری بصورت ذاتا دیجیتال انجام می شود. در این روش از سیگنال تبخیر با فرکانسی چندین برابر فرکانس آن نمونه برداری می گردد. سیستم مطرح شده ساخته شده و مورد آزمایش قرار گرفته شده است. سیستم ساخته شده مدل سازی شده و این مدل توسط نرم افزار در رایانه شبیه سازی شده است. این پایان نامه شامل فصل های زیر می باشد: مقدمه ای بر تبخیر و روش های اندازه گیری آن سنسور های حلقه بسته توصیف تبخیر سنج ساخته شده مدل سازی تبخیر سنج ساخته شده طراحی کنترل کننده فازی و بررسی نتایج شبیه سازی و نتایج آزمایشگاهی طراحی سنسور خازنی تخمین بر اساس مدولاسیون سیکما دلتا