در این تحقیق پوشش های نانوساختار از جنس ticx از طریق فرآیند لایه نشانی از فاز بخار به کمک پلاسما (pacvd) و با هدف بهبود خواص مکانیکی، سایشی و تریبولوژیک، بر روی نمونه هایی از جنس فولاد ابزار گرم کار h11 نشانده شدند. پوشش ها در ولتاژ ثابت و زمان لایه نشانی 120 دقیقه لایه نشانی شدند. همچنین متغیرهای انتخاب شده برای فرآیند پوشش دهی شامل دما، نسبت های گازی ticl4/ch4 و دوره های کاری بودند. بررسی پوش...

در این شبیه سازی، محیط گازی را محیطی پیوسته و جریان گاز را جریانی آرام فرض کرده ایم. همچنین از اثرات تابش صرف نظر نموده و گازها را در محیط پلاسما ایده آل در نظر می گیریم. در نتیجه این شبیه سازی که با استفاده از نرم افزارفلوئنت انجام شده است، نرخ لایه نشانی کربید سیلیسیوم و همچنین پروفیل لایه نشانی محاسبه شده آن و نیز اثر پارامتر های مختلف موثر بر لایه نشانی شامل: نرخ ورودی گاز، دمای سطح زیر لای...

هدف از رساله حاضر، ایجاد پوشش سخت نانوساختار نیترید تیتانیوم آلومینیوم (tialn) با استفاده از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (pacvd)، بررسی تاثیر متغیرهای مختلف از جمله دمای لایه نشانی، نسبت پیش ماده های واکنش و درصد چرخه کار بر خواص مکانیکی و سایشی پوشش و در نهایت مطالعه نحوه مکانیزم رشد و جوانه زنی آن می باشد. در این تحقیق، زیرلایه از فولاد گرم کار aisi h13 (din: 1.2344) است...

لایه های اکسیدی به روشی جدید در محدوده دمایی بالاتر از 140 درجه سانتیگراد و فشارهای 4 الی 20 تور در نسبت های مختلف گازی o2/sih4 تهیه شده اند که دارای نرخ لایه نشانی بین 0 -500 آنگسترم در دقیقه و نرخ لایه برداری بین 50-110 آنگسترم در ثانیه و میدان های شکست از مرتبه مگاولت بر سانتیمتر بوده که از لحاظ کیفیت بسیار نزدیک به لایه های اکسید حرارتی می باشند. آنالیز لایه های اکسیدی تهیه شده به وسیله ft-...

پوشش های سخت مانند نیترید تیتانیم و کاربید تیتانیم به دلیل داشتن خواص منحصر به فرد، همانند سختی و استحکام بالا، مقاومت بالا به سایش و خوردگی، در محیط های صنعتی مانند ابزارهای برش، سایش و قالب های اکستروژن، کاربرد دارند. در صورتی که این نوع پوشش ها به صورت چند لایه استفاده شوند، خواص مکانیکی بهتری از خود نشان می دهند. پوشش های نازک و سخت معمولاً توسط تکنیک های مختلف ترسیب از فاز بخار فیزیکی و شیم...

لایه­ نازک کربن شبه الماسی به علت خاصیت ضد بازتابی که دارند به منظور افزایش بازدهی سلول­های خورشیدی استفاده می­گردد. در این تحقیق نانو فیلم کربن شبه الماسی با ضخامت 80 نانومتر بر سلول خورشیدی سیلیکونی نوع P به روش رسوب شیمیایی از فاز بخار تقویت شده با پلاسما (PECVD) از مخلوط گازهای هیدروژن و متان لایه نشانی شد. خواص اپتیکی پوشش به وسیله دستگاه بیضی سنجی وUV-VIS-NIR Recording Spectro Photometer ...

لایه نشانی متوالی لایه های فوق نازک نانومتری ترکیبات سیلیکونی نیترید سیلیسیم، پلی سیلیکون و دی اکسید سیلیسیم به روش لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار در فشار پایین (lpcvd) و بررسی خواص لایه ها، سینتیک و ترمودینامیک تشکیل آنها هدف نهایی این پروژه کارشناسی ارشد است. مواد اولیه مورد استفاده درلایه نشانی ها عبارتند از تری کلرو سیلان (tcs) ، دی کلرو سیلان (dcs) ، سیلان(sih4) ، نیتروژن(n2) ، اکسیژن (o2)...

کار بر روی پروژه "شبیه سازی، طراحی و تهیه ی اجزای مورد نیاز برای ساخت سامانه ی لایه نشانی pecvd"، با هدف لایه نشانی اکسیدسیلیکون به عنوان لایه ی محافظ در قطعات الکترونیک آغاز شد. در مراحل ابتداییِ تحقیق مشخص شد که اغلب لایه های دی الکتریک موجود در تکنولوژی مدارات مجتمع، از جمله دی الکتریک بین لایه ها، اکسید میدان، لایه های محافظ و حتی در مواردی اکسید گیت، با روش های لایه نشانی بخار شیمیایی در مح...

پوشش نیترید تیتانیم علیرغم داشتن سختی و مقاومت به سایش نسبتا مطلوب، دارای تردی ذاتی است. برای کاهش این تردی و به بیان دیگر بهبود چقرمگی شکست این پوشش، می توان از چند لایه کردن پوشش بهره برد. در این رساله با استفاده از روش رسوبدهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما، لایه تیتانیم با کمترین ناخالصی و لایه نیترید تیتانیم با استوکیومتری 1:1 لایه نشانی شده سپس با استفاده از مقادیر بدست آمده در لایه نش...