از آنجائیکه کانتیلیور ها پایه و اساس بیشتر قطعات مبتنی بر ساختارهای mems می باشند، در این مقاله فرآیند ساخت کانتیلیور با فناوری میکرو ماشین کاری حجمی بیان شده است و از آن فرآیند برای ساخت آرایه ای از میکروکانتیلیورهای تک ماده ای از جنس sio2 استفاده شده است. نتایج حاصل از این مقاله می تواند پایه و اساس طراحی و ساخت حسگرهایی باشد که بر پایه کانتیلیور از جنس sio2 استوار است. طراحی فرآیند ساخت کانت...

در این مقاله، آشکارساز مادون قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیه­سازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده ای و ایزوله و ستون­های نگه­دارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایه­ای از جنس دی اکسید سیلیکون (sio2) به ضخامت µm1 و آلومینیوم (al) به ضخامت nm200 است. در این آشکارساز، میزان جذب ir و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده ای ...

در این مقاله، آشکارساز مادون قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیه­سازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده ای و ایزوله و ستون­های نگه­دارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایه­ای از جنس دی اکسید سیلیکون (sio2) به ضخامت µm1 و آلومینیوم (al) به ضخامت nm200 است. در این آشکارساز، میزان جذب ir و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده ای ...

در این مقاله، آشکارساز مادون‌قرمز میکروکانتیلیور با حساسیت بالا و بدون نیاز به خنک ساز، طراحی و شبیه­سازی شده است. این آشکارساز شامل، ناحیه جاذب، نواحی دو ماده‌ای و ایزوله و ستون­های نگه­دارنده است. ساختار آن معلق و به صورت دو لایه­ای از جنس دی اکسید سیلیکون (SiO2) به ضخامت µm1 و آلومینیوم (Al) به ضخامت nm200 است. در این آشکارساز، میزان جذب IR و میزان خمش با طراحی ناحیه جاذب به صورت دو ماده‌ای ...