فرآیند لیتوگرافی در ساخت مدارهای تجمعی سیلیکون

پایان نامه
چکیده

فرآیند لیتوگرافی، یکی از اساسی ترین و پرهزینه ترین مراحل در ساخت مدارهای تجمعی است . در مقایسه با سایر فرآیندهای ساخت مدارهای تجسمی مثل : اکسیداسیون، ناخالص سازی و فلزگذاری که تحقیقاتی هم در زمینه شبیه سازی کامپیوتری این فرآیندها و هم در زمینه آزمایش عملی آنها با تکنیک های موجود در کشور انجام پذیرفته است ، در مورد لیتوگرافی هیچ تحقیق سازمان یافته و مشخصی که به جزئیات این فرآیند بپردازد، انجام نپذیرفته است . هدف ما در این رساله گردآوری اطلاعات دقیق راجع به فرآیند لیتوگرافی و روشهای عملی انجام آن می باشد. در این راستا سعی شده است که تکنیک هایی که بیشترین سازگاری را با تکنولوژی موجود در کشور دارند . به طور کامل مورد بررسی قرار گیرند و در انتهای آزمایشات عملی که با استفاده از تکنولوژی در دسترس انجام پذیرفته است و نتایج حاصله ذکر گردیده است . امید داریم که مجموعه حاضر بتواند به عنوان نقطه شروعی در تحقیقات گسترده تر بعدی مورد استفاده محققین و دانش پژوهان کشورمان قرار گیرد.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

فرآیند اکسیداسیون در ساخت مدارهای تجمعی سیلیکون

باتوجه به امکانات موجود، نتایج به دست آمده بسیار مثبت و رضایتبخش بوده است . برای انجام اکسیداسیون و تحقیق در زمینهء آهنگ اکسیداسیون و تاثیر دقیق عوامل مختلف بر روی آن احتیاج به یک کورهء اکسیداسیون مدرن دارد. کوره در دسترس برای این پروژه، فقط در یک دمای خاص (115 درجه سانتیگراد) کار می کرد (برای دماهای دیگر ضروری بود که دما در تمام نقاط داخل کوره به منظور به دست آوردن نیمرخ دمای اکسیداسیون اندازه...

15 صفحه اول

فرایند ناخالصی سازی در ساخت مدارهای تجمعی سیلیکون

مدارهای تجمعی قلب سیستمهای الکترونیکی را تشکیل می دهند. با توجه به اینکه تمامی علوم و تکنولوژی های پیشرفته وابسته به تکنولوژی الکترونیک هستند، لذا کشوری که قادر به طراحی و ساخت مدارهای تجمعی مورد نیاز خود نباشد، اساسا وابسته به کشورهای دیگر است . گرچه با توجه به پیشرفتهای عظیمی که در این رشته صورت گرفته، ورود کشور ما به صحنه تکنولوژی ساخت مدارهای تجمعی تا حدودی دیر است ، اما با یک برنامه ریزی ا...

15 صفحه اول

استراتژی های مدیریتی برای کاهش آلاینده ها در فرآیند چاپ لیتوگرافی

میزان تولید آلاینده‌های صنعتی در طی چند دهه اخیر، رشد فزآینده‌ای داشته است. آلاینده‌ها به مواد زاید اعم از جامد، مایع و گاز که دارای فعالیت شیمیایی، سمیت، خاصیت انفجاری، خورندگی می‌باشند، اطلاق می‌شود. این مواد برای سلامت انسان یا محیط زیست، به صورت مجزا و یا هنگامی که با سایر مواد زاید مخلوط می‌شوند، ایجاد خطر می‌کنند. صنایع چاپ از جمله صنایعی خطرناک برای محیط زیست محسوب می‌شوند که به دلیل مصر...

متن کامل

تاثیر کاشت یونی ژرمانیم در فرآیند ایجاد اکسید حرارتی سیلیکون

سرعت اکسید شدن در سیلیکون می تواند در اثر وجود ناخالصی ها تغییر کند.

متن کامل

نظام مناسب جهت حمایت از حقوق مالکیت فکری در طرح ساخت مدارهای یکپارچه

تحصیل نظام مناسب جهت حمایت از حقوق مالکیت فکری در طرح ساخت مدارهای یکپارچه از دهه‌ی هشتاد میلادی، با احراز ناکارآمدی نظام حق اختراع و مالکیت ادبی و هنری، یکی از دغدغه های فعالان این صنعت بوده است. پیش بینی نظام خاص حمایتی در قوانین ملی و به تبع آن معاهده ی واشنگتن و در نهایت موافقت نامه ی تریپس پاسخی به این نیاز می باشد. اما، در عمل همچنان حق اختراع از مقبولیت عمومی بیشتر برخوردار بوده و نظام خ...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه فردوسی مشهد - دانشکده علوم

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023