مطالعه ی رفتار مکانیکی سنسورهای خازنی اندازه گیری سرعت زاویه ای

هدف اصلی در این پایان نامه طراحی و معرفی یک میکرو حسگر سرعت زاویه ای و بررسی رفتار مکانیکی آن است که در آن میکرو تیر دو سر گیر دار، در معرض تحریک نیروی الکترواستاتیک و گریز از مرکز می باشد. معادلات حرکت حاکم بر این مسئله بر اساس فرض تیر اویلر برنولی به دست آمده است. برای حل استاتیکی این معادلات با استفاده از روش خطی سازی گام به گام حل گردید، سپس با استفاده از روش کاهش مرتبه گلرکین این معادلات خطی شده حل گردیدند. به علاوه، برای مطالعه رفتار پایداری میکروتیر، با سیستم گسترده جرم و فنر معادل سازی شد و معادله غیر خطی استاتیکی برای این حالت بدست آمد. ولتاژ ناپایدار استاتیکی برای سرعت های زاویه ای مختلف و سرعت زاویه ای ناپایدار به ازای ولتاژهای بایاس مختلف محاسبه شد. برای مقادیر ثابت ولتاژ بایاس و سرعتهای زاویه ای مختلف نقاط تعادل سیستم شامل نقاط پایدار سنتر و نقاط ناپایدار سدل و نقاط تکین بدست آمد. تاثیر نیروی گریز از مرکز بر روی نقاط تعادلی با استفاده از رسم نمودار فازی به ازای شرایط اولیه مختلف مطالعه گردید. همچنین پایداری نقاط تعادل با استفاده از رسم دیاگرام های فازی ارایه گردید و ناحیه جذب و دفع (نواحی پایدار و ناپایدار) نشان داده شد.